基于低相干光干涉的连续镜面轴上间距测量装置及方法

    公开(公告)号:CN117006961B

    公开(公告)日:2024-09-13

    申请号:CN202310990770.4

    申请日:2023-08-07

    发明人: 刘经佑

    IPC分类号: G01B11/14

    摘要: 本发明公开了一种基于低相干光干涉的连续镜面轴上间距测量装置及方法,属于光学精密测量技术领域;本发明提出一种基于低相干光干涉的连续镜面轴上间距测量装置,并基于装置设计了一种与之相匹配的间距测量方法,运用相当于可调节厚度的光学平行板的互补型楔形棱镜组,精密调节参与干涉的参考光束单程方向光程差,使测试光束纵向地对被测连续镜面的各镜面依次扫描,测量出连续各镜面间的轴上光程差,获得被测连续镜面中各相邻镜面间的轴上间距。本发明结构简单,实施成本低廉,操作方便,且能够有效提高镜面间距测量的精度。

    多镜面透镜组镜面间距的低相干光干涉测量方法和装置

    公开(公告)号:CN108759698B

    公开(公告)日:2020-02-14

    申请号:CN201810868921.8

    申请日:2018-08-02

    发明人: 刘经佑 雷枫

    IPC分类号: G01B11/14

    摘要: 本发明公开了一种多镜面透镜组镜面间距的低相干光干涉测量方法和装置,其中方法包括:产生第一、第二两低相干光;在第一光路上放置楔形棱镜组,由楔角相同的第一楔形棱镜和第二楔形棱镜组成;在所述第二光路上放置光学平板和被测多镜面透镜组;调整好被测透镜组至适当位置后,沿楔角的棱面连续移动第二楔形棱镜,使得被测透镜组各镜面的反射光依次与所述第二楔形棱镜的楔角的另一棱面的反射光,在CCD相机接收面上产成干涉条纹,根据所述第二楔形棱镜移动过程中,产生相邻两次干涉条纹的位置读数,计算得到被测多镜面透镜组中心轴上相邻镜面间距。本发明,实现了对多镜面透镜组的镜面间距的非接触无损伤测量,反应灵敏,测量精度高。

    多镜面透镜组镜面间距的低相干光干涉测量方法和装置

    公开(公告)号:CN108759698A

    公开(公告)日:2018-11-06

    申请号:CN201810868921.8

    申请日:2018-08-02

    发明人: 刘经佑 雷枫

    IPC分类号: G01B11/14

    摘要: 本发明公开了一种多镜面透镜组镜面间距的低相干光干涉测量方法和装置,其中方法包括:产生第一、第二两低相干光;在第一光路上放置楔形棱镜组,由楔角相同的第一楔形棱镜和第二楔形棱镜组成;在所述第二光路上放置光学平板和被测多镜面透镜组;调整好被测透镜组至适当位置后,沿楔角的棱面连续移动第二楔形棱镜,使得被测透镜组各镜面的反射光依次与所述第二楔形棱镜的楔角的另一棱面的反射光,在CCD相机接收面上产成干涉条纹,根据所述第二楔形棱镜移动过程中,产生相邻两次干涉条纹的位置读数,计算得到被测多镜面透镜组中心轴上相邻镜面间距。本发明,实现了对多镜面透镜组的镜面间距的非接触无损伤测量,反应灵敏,测量精度高。

    基于低相干光干涉法的透镜中心厚度的非接触测量方法

    公开(公告)号:CN107401982A

    公开(公告)日:2017-11-28

    申请号:CN201710616580.0

    申请日:2017-07-26

    发明人: 刘经佑 雷枫

    IPC分类号: G01B11/06

    CPC分类号: G01B11/0675

    摘要: 本发明公开了一种基于低相干光干涉法的透镜中心厚度的非接触测量方法,包括:采用白光或低相干光作为入射光源,调整等光程干涉仪两光路臂之间光程差使其能够观察到干涉条纹;在两光路臂中分别置入棱镜组和光学平板玻璃,两路光束分别垂直棱镜组和光学平板玻璃端面,移动棱镜组中可动楔形棱镜调整光程差,直至测量过程中首次看到干涉条纹;在平板玻璃所在光路臂中置入被测透镜并让光束垂直通过透镜中心,继续移动可动楔形棱镜直至第二次看到圆形干涉条纹;分别记录两次观察到干涉条纹时可动楔形棱镜联动测量尺的位置读数,计算透镜中心厚度。本发明操作简便、非接触且无损测量,采用透过式干涉测量,特别适用于表面反射率极低的透镜中心厚度测量。

    一种圆孔内径的精密测量系统及方法

    公开(公告)号:CN106247961A

    公开(公告)日:2016-12-21

    申请号:CN201610907973.2

    申请日:2016-10-18

    发明人: 左芬 刘经佑 雷枫

    IPC分类号: G01B11/12

    CPC分类号: G01B11/12

    摘要: 本发明公开了一种圆孔内径的精密测量系统及方法,该系统包括光纤光源、第一显微物镜、载物台、第二显微物镜、成像透镜和面阵相机;光纤光源发出的光通过第一显微物镜会聚,穿过载物台,会聚在第二显微物镜的光轴上,形成聚焦点,再经过第二显微物镜平行射入成像透镜,汇聚于一点进入面阵相机;移动载物台,通过面阵相机分别观察到相互对称的半圆形焦斑形状时,聚焦点分别处于圆孔内径相对的两个端点上,分别记录下此时载物台的坐标,两坐标差的绝对值为待测工件的圆孔内径值。本发明在焦点的显微成像图像形状的基础上,利用光学系统的几何成像规律,实现被测工件的圆孔内径的测量,测量精度高,测量操作简便,成本较低,易于普及推广。

    基于低相干光干涉的连续镜面轴上间距测量装置及方法

    公开(公告)号:CN117006961A

    公开(公告)日:2023-11-07

    申请号:CN202310990770.4

    申请日:2023-08-07

    发明人: 刘经佑

    IPC分类号: G01B11/14

    摘要: 本发明公开了一种基于低相干光干涉的连续镜面轴上间距测量装置及方法,属于光学精密测量技术领域;本发明提出一种基于低相干光干涉的连续镜面轴上间距测量装置,并基于装置设计了一种与之相匹配的间距测量方法,运用相当于可调节厚度的光学平行板的互补型楔形棱镜组,精密调节参与干涉的参考光束单程方向光程差,使测试光束纵向地对被测连续镜面的各镜面依次扫描,测量出连续各镜面间的轴上光程差,获得被测连续镜面中各相邻镜面间的轴上间距。本发明结构简单,实施成本低廉,操作方便,且能够有效提高镜面间距测量的精度。

    基于低相干光干涉法的透镜中心厚度的非接触测量方法

    公开(公告)号:CN107401982B

    公开(公告)日:2019-07-09

    申请号:CN201710616580.0

    申请日:2017-07-26

    发明人: 刘经佑 雷枫

    IPC分类号: G01B11/06

    摘要: 本发明公开了一种基于低相干光干涉法的透镜中心厚度的非接触测量方法,包括:采用白光或低相干光作为入射光源,调整等光程干涉仪两光路臂之间光程差使其能够观察到干涉条纹;在两光路臂中分别置入棱镜组和光学平板玻璃,两路光束分别垂直棱镜组和光学平板玻璃端面,移动棱镜组中可动楔形棱镜调整光程差,直至测量过程中首次看到干涉条纹;在平板玻璃所在光路臂中置入被测透镜并让光束垂直通过透镜中心,继续移动可动楔形棱镜直至第二次看到圆形干涉条纹;分别记录两次观察到干涉条纹时可动楔形棱镜联动测量尺的位置读数,计算透镜中心厚度。本发明操作简便、非接触且无损测量,采用透过式干涉测量,特别适用于表面反射率极低的透镜中心厚度测量。

    透镜组轴上镜面间距的低相干光干涉测量装置及方法

    公开(公告)号:CN109631783A

    公开(公告)日:2019-04-16

    申请号:CN201910057537.4

    申请日:2019-01-22

    发明人: 刘经佑 雷枫

    IPC分类号: G01B11/14

    CPC分类号: G01B11/14

    摘要: 本发明公开了一种透镜组轴上镜面间距的低相干光干涉测量装置及方法。该方法采用低相干光源的迈克尔孙干涉系统,在两光路中分别置入楔形棱镜组和用于补偿楔形棱镜组初始状态光程差的光学平行板;用被测透镜组替换光学平行板所在光路的平面反射镜,利用楔形棱镜组调节补偿测量过程中两路光干涉时的光程差;连续移动楔形棱镜组的可动第二楔形棱镜,依次找到透镜组各镜面反射光分别与楔形棱镜组所在光路的平面反射镜的反射光产生干涉条纹时的第二楔形棱镜位置,并记录位置读数;根据低相干光等光程干涉原理,依次计算透镜组相邻两镜面的轴上间距。本发明避免了出现干涉条纹误判的现象;且在同样的条件下,提高了测量精度、简化了调试和测量步骤。

    一种干涉仪用挂载式结构

    公开(公告)号:CN205745961U

    公开(公告)日:2016-11-30

    申请号:CN201620679294.X

    申请日:2016-07-01

    IPC分类号: F16M13/02 G01S7/00

    摘要: 本实用新型公开了一种干涉仪用挂载式结构,包括干涉仪,所述支撑板的左端设有贯穿支撑板的第二螺纹孔,且第二螺纹孔位于滑槽的下侧,所述第二螺纹孔内插接有螺纹杆,所述螺纹杆的左端设有旋转块,所述螺纹杆的右端设有导向孔,且导向孔内插接有导向杆,所述导向杆的左端连接有弹簧,且弹簧的左端抵在导向孔的内腔左壁上,所述导向杆的右端设有推块。该干涉仪用挂载式结构,通过调节螺栓,可以调节挡板的高度,这样就能适应不同厚度的挂靠横梁,挂靠的更牢,通过螺纹杆则可以使推块紧紧的挤在挂靠横梁上,可以适应不同宽度的挂靠横梁,而且不容易产生晃动,更牢靠稳定,弹簧的设置则防止夹的过紧。

    一种光学测量用防护装置
    10.
    实用新型

    公开(公告)号:CN206459620U

    公开(公告)日:2017-09-01

    申请号:CN201720172458.4

    申请日:2017-02-24

    发明人: 左芬 刘经佑

    IPC分类号: G01B11/00

    摘要: 本实用新型涉及光学测量技术领域,且公开了一种光学测量用防护装置,包括框架,框架的顶端固定连接有盖板,框架的表面固定连接有固定框,固定框的四角均固定连接有固定块,固定块的表面固定连接有伸缩杆,伸缩杆的外侧固定连接有弹簧,伸缩杆远离固定块的一端固定连接有固定环,固定环的内部设置有安装槽,安装槽内固定安装有测量仪器,框架的两侧均开设有容置槽,容置槽内的一侧固定连接有连接块。该光学测量用防护装置,通过设置遮光板,使用者手握把手,将遮光板从容置槽内进行取出,针对具体阳光位置情况,对阳光进行遮挡,达到了该光学测量用防护装置对测量仪器进行遮光的目的,从而降低了测量仪器的测量误差。