公开(公告)号：CN117582814A

公开(公告)日：2024-02-23

申请号：CN202311683010.5

申请日：2023-12-08

申请人： 深圳供电局有限公司

发明人： 唐峰 ,  方华 ,  向真 ,  鲜成 ,  邹洪民 ,  杨晴

IPC分类号： B01D53/86 ,  B01D53/22 ,  B01D53/02 ,  B01D53/30 ,  B01D53/46

摘要： 本申请公开了一种纯化标准气体原料气的装置，包括液氮储罐、标准气体原料气、多个电动隔膜阀、纯化装置、氦离子气相色谱仪、质量流量计、增压泵以及回收钢瓶；所述多个电动隔膜阀包括第一电动隔膜阀、第二电动隔膜阀、第三电动隔膜阀和第四电动隔膜阀；所述液氮储罐与所述第一电动隔膜阀以及所述纯化装置顺序连接；所述标准气体原料气与所述第二电动隔膜阀以及所述纯化装置顺序连接；所述纯化装置与所述第三电动隔膜阀以及所述氦离子气相色谱仪顺序连接；所述纯化装置与所述第四电动隔膜阀、所述质量流量计、所述增压泵以及所述回收钢瓶顺序连接。通过本申请，能够去除标准气体原料气中的惰性气体杂质。