一种电子级三氟化硼的生产系统及其生产方法

    公开(公告)号:CN117446816A

    公开(公告)日:2024-01-26

    申请号:CN202311188326.7

    申请日:2023-09-14

    IPC分类号: C01B35/06

    摘要: 本发明涉及一种电子级三氟化硼的生产系统及其生产方法,生产系统包括依次连接的第一过滤器、第一除尘器、第一吸附塔、第二吸附塔、第二除尘器、第二过滤器、预精馏塔、脱轻塔、脱重塔、第三过滤器、中间储罐、隔膜压缩机;其中,第一吸附塔的吸附温度为10℃~35℃,第二吸附塔的吸附温度为‑20℃~0℃;预精馏塔的精馏压力为1.3MPa~2.5Mpa;脱轻塔的精馏压力为1.2MPa~2.4MPa;脱重塔的精馏压力为1.0MPa~2.2MPa。本发明工艺合理,设备投入少,操作简单,可以连续稳定的生产高纯三氟化硼,生产能力大,收率高,经纯化后,各项指标均符合要求,生产的BF3纯度在99.999%以上,质量稳定,可用于半导体行业及其它相关行业、可以更好的利用冷量和热量,使生产成本低。

    一种13CO2生产装置及生产方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115536023A

    公开(公告)日:2022-12-30

    申请号:CN202211311055.5

    申请日:2022-10-25

    IPC分类号: C01B32/50

    摘要: 本发明涉及同位素产品加工技术领域,具体公开了一种产品纯度和收率高、且生产成本低的13CO2生产装置及生产方法,装置包括催化氧化反应器,连通催化氧化反应器输入端的氮气钢瓶、13CO气体钢瓶及氧气钢瓶,择一连通催化氧化反应器输出端的13CO2粗品冷阱和13CO2产品冷阱,13CO2粗品冷阱与13CO2产品冷阱合流后择一连通13CO2粗品钢瓶和13CO2产品钢瓶,催化氧化反应器输出端连通分析设备。该方法包括:催化剂、氧气和13CO气体在催化氧化反应器中催化氧化反应并获得13CO2粗品;收集13CO2粗品并取样分析产品是否合格;对产品降温使13CO2转变为固体,抽真空并升压,除去产品的杂质并装瓶。

    13CO同位素分离尾气纯化装置及方法

    公开(公告)号:CN115301040A

    公开(公告)日:2022-11-08

    申请号:CN202210789863.6

    申请日:2022-07-05

    IPC分类号: B01D53/04 B01D53/26 B01D46/00

    摘要: 本发明涉及气体纯化技术领域,具体公开了一种易于操作、纯化效果好,纯化后的气体各项指标均符合电子级应用标准的13CO同位素分离尾气纯化装置,包括依序连通的第一隔膜压缩机、除水塔、吸附塔、脱轻塔、除尘器、第一过滤器、与脱轻塔塔底连通的脱重塔、与脱重塔塔顶连通的第二过滤器及与第二过滤器连通并输出CO纯化产品的第二隔膜压缩机。还公开了一种13CO同位素分离尾气纯化方法,包括对待纯化CO尾气增压除水,并吸附除去尾气中预设种类的气体杂质;对吸附后的尾气除尘过滤;通过脱轻塔和脱重塔对过滤后的尾气进行精馏;过滤并压缩精馏气体,以制得CO纯化产品。

    一种利用13CO同位素分离尾气生产高丰度12CO的装置与方法

    公开(公告)号:CN116272368A

    公开(公告)日:2023-06-23

    申请号:CN202310173897.7

    申请日:2023-02-28

    摘要: 本发明涉及气体纯化和同位素富集领域,公开了一种12CO纯化富集效果好,处理后气体满足半导体行业对12C丰度和纯度需求,利用13CO同位素分离尾气生产高丰度12CO的装置,包括顺序连通的第一隔膜压缩机、第一中间储罐、低温吸附塔、脱轻塔、同位素富集塔、第二中间储罐及第二隔膜压缩机,低温吸附塔与脱轻塔间设有除尘器和第一过滤器,同位素富集塔与第二中间储罐间设有第二过滤器;真空泵和同位素富集塔外部的井真空夹套,真空泵抽取同位素富集塔与井真空夹套内壁间夹层内的气体,同位素富集塔包括塔体、塔体顶底部的第二塔顶冷凝器和第二塔底再沸器。及一种基于上述装置的利用13CO同位素分离尾气生产高丰度12CO的方法。

    一种三氟化硼气体的提纯系统
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117105236A

    公开(公告)日:2023-11-24

    申请号:CN202311163206.1

    申请日:2023-09-08

    发明人: 赵东升 黄华璠

    IPC分类号: C01B35/06

    摘要: 本发明涉及一种三氟化硼气体的提纯系统,三氟化硼气体的提纯系统包括依次通过管道连接的无水氟化氢储罐、冷凝器、吸附剂储罐和过滤器。本发明采用无水氟化氢储罐吸收和吸附剂储罐吸附的方式,将三氟化硼气体中的金属组分先溶于无水氟化氢液体,或与气态氟化氢形成新的化合物后,被吸附在金属氟化物上,从而与氟化氢一起被除去。本发明的三氟化硼气体的提纯系统具有流程短、能耗低的特点。

    一种13CO2生产装置
    8.
    实用新型

    公开(公告)号:CN218709223U

    公开(公告)日:2023-03-24

    申请号:CN202222820902.2

    申请日:2022-10-25

    IPC分类号: C01B32/50

    摘要: 本实用新型涉及同位素产品加工技术领域,具体公开了一种产品纯度和收率高、且生产成本低的13CO2生产装置,该13CO2生产装置包括催化氧化反应器,连通催化氧化反应器输入端的氮气钢瓶、13CO气体钢瓶及氧气钢瓶,择一连通催化氧化反应器输出端的13CO2粗品冷阱和13CO2产品冷阱,13CO2粗品冷阱与13CO2产品冷阱合流后择一连通13CO2粗品钢瓶和13CO2产品钢瓶,催化氧化反应器输出端连通分析设备。

    13CO同位素分离尾气纯化装置

    公开(公告)号:CN218130904U

    公开(公告)日:2022-12-27

    申请号:CN202221729021.3

    申请日:2022-07-05

    IPC分类号: B01D53/04 B01D53/26 B01D46/00

    摘要: 本实用新型涉及气体纯化技术领域,具体公开了一种易于操作、纯化效果好,纯化后的气体各项指标均符合电子级应用标准的13CO同位素分离尾气纯化装置,包括用于接入和压缩待纯化尾气的第一隔膜压缩机、与第一隔膜压缩机输出端连通的除水塔、与除水塔输出端连通的吸附塔、与吸附塔输出端连通的脱轻塔、设置在吸附塔与脱轻塔连接管路上的除尘器和第一过滤器、与脱轻塔塔底连通的脱重塔、与脱重塔塔顶连通的第二过滤器以及与第二过滤器输出端连通的第二隔膜压缩机,所述第二隔膜压缩机的输出端输出CO纯化产品。