一种X射线光电子能谱仪进样系统

    公开(公告)号:CN209148570U

    公开(公告)日:2019-07-23

    申请号:CN201821792971.4

    申请日:2018-11-01

    IPC分类号: G01N23/2273

    摘要: 本实用新型公开了一种X射线光电子能谱仪进样系统,用于对样品抽真空后将样品送到测试系统检测,包括:第一进样装置、第二进样装置、真空泵装置及真空管道;所述第一进样装置包括第一进样室,所述第二进样装置包括第二进样室,所述真空泵装置位于所述第一进样室与所述第二进样室之间,所述第一进样室与所述第二进样室均与所述真空泵装置通过真空管道相连,所述真空管道与所述第一进样室和所述第二进样室连接处均设置有阀门;所述真空泵装置用于对所述第一进样室进行抽真空,所述真空泵装置用于对所述第二进样室进行抽真空。本实用新型所述X射线光电子能谱仪进样系统能够降低了样品测试过程中的等待时间,提高了测试效率。

    一种X射线光电子能谱仪批量进样系统

    公开(公告)号:CN209148569U

    公开(公告)日:2019-07-23

    申请号:CN201821792439.2

    申请日:2018-11-01

    IPC分类号: G01N23/2209

    摘要: 本实用新型提供一种X射线光电子能谱仪批量进样系统,包括储样室;设置于储样室内且与储样室滑动连接的样品架托,样品架托尾部连接一从储样室外部穿入储样室内部、用于推动样品架托在储样室内移动的螺杆,样品架托可放置若干个样品;相对应的设置于储样室的内部和外部的磁力内推手和磁力外推手,磁力内推手连接一沿垂直于所述样品架托的方向设置的进样杆,磁力内推手可在磁力外推手被推动时跟随所述磁力外推手一起移动以使进样杆推动所述样品架托上的样品进检测系统,储样室在与进样杆处于同一直线的位置处设置有与检测系统连通的进样门;以及与储样室连接、用于对储样室抽真空的抽真空系统。本实用新型可批量对样品抽真空后将样品逐个送检。