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公开(公告)号：CN116906438A
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202310664590.7
申请日：2023-06-06
申请人： 深圳综合粒子设施研究院
摘要： 本申请提供了一种柔性铰链结构及精密微调机构，精密微调机构包括安装平台、底座及至少两个连接于安装平台与底座之间的柔性铰链结构；柔性铰链结构包括支撑主体及对称设于支撑主体两端的两个铰链组；铰链组包括多个圆弧铰链单元，各圆弧铰链单元的一端沿支撑主体的宽度方向依次间隔设置并分别与支撑主体一体连接，另一端汇聚相接；圆弧铰链单元的厚度自中间向两端逐渐增大，且沿其厚度方向具有两个背对对称设置的圆弧面，圆弧面的圆心角小于30度。本申请中，圆弧铰链单元的厚度变化幅度小，不会出现应力集中，使得该柔性铰链结构能够适应更大的角度转动范围。且多个圆弧铰链单元的设置，使得该机构具有较高的刚性，能够实现更高的精度和稳定性。
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公开(公告)号：CN116449527A
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN202310360130.5
申请日：2023-03-29
申请人： 深圳综合粒子设施研究院
摘要： 本申请提供了一种X射线准直镜热变形控制装置及方法，包括反射镜；冷却基座，冷却基座上分别开设有冷却介质通道和导热调节槽；冷却介质，设于反射镜与冷却基座之间；固定组件，与冷却基座相连接。通过冷却基座经由冷却介质来降低接触热阻，可实现反射镜与冷却介质之间的高效间接热交换；通过在冷却基座上分别开设冷却介质通道和导热调节槽，且将冷却介质、导热调节槽和冷却介质通道在沿反射镜朝冷却基座的热传递方向上依次设置。在反射镜通过冷却基座与冷却介质之间进行热交换的过程中，导热调节槽可调节换热路径上的热阻分布，调控反射镜表面的温度分布，从而实现对反射镜表面的热变形精确控制，有效提升反射镜在高热负载下的面形精度。
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公开(公告)号：CN118534613A
公开(公告)日：2024-08-23
申请号：CN202410777900.0
申请日：2024-06-17
申请人： 深圳综合粒子设施研究院
摘要： 本申请公开了一种姿态调节系统，涉及X射线光学领域。姿态调节系统包括承载板、第一升降机构、第一柔性铰链、两第二升降机构及两第二柔性铰链；两所述第二升降机构与所述第一升降机构在所述第一方向上相对设置，在所述第二方向上，两所述第二升降机构分设于所述第一升降机构的两侧，所述第一升降机构的升降方向和两所述第二升降机构的升降方向均平行于所述第三方向；所述第一柔性铰链设置于所述第一升降机构上，两所述第二柔性铰链一一对应地设置于两所述第二升降机构上；所述承载板安装于所述第一柔性铰链和两所述第二柔性铰链上。本申请提供的姿态调节系统可实现X射线反射聚焦镜高精度的高度调节和角度调节。
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公开(公告)号：CN118534606A
公开(公告)日：2024-08-23
申请号：CN202410705958.4
申请日：2024-06-03
申请人： 深圳综合粒子设施研究院
摘要： 本发明公开了一种光学元件的角度调节装置，包括投角调节机构、滚角调节机构和摆角调节机构；投角调节机构包括上摇篮组件和下摇篮组件，上摇篮组件和下摇篮组件通过第一铰链组件连接，上摇篮组件设置有光学元件，上摇篮组件和下摇篮组件之间设置有第一电机组件；滚角调节机构包括第二铰链组件和底板，第二铰链组件和底板之间设置有第二电机组件；摆角调节机构包括第三铰链组件和第三电机组件，底板的第二表面与第三铰链组件固定连接。通过铰链组件进行连接，减小了旋转时的摩擦，重复性好，分别通过投角调节机构、滚角调节机构和摆角调节机构调节光学元件的不同角度，调节精度高，可广泛应用于光学设备技术领域。
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公开(公告)号：CN118330839A
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN202410573894.7
申请日：2024-05-10
申请人： 深圳综合粒子设施研究院
摘要： 本申请公开了一种角度调节装置及光学仪器，涉及光学领域。角度调节装置包括顶板、底板、柔性顶针件、第一柔性铰链结构和第二柔性铰链结构。顶板和底板由轻质材料制成，线性驱动件设于底板上。柔性顶针件的一端固定于顶板上，另一端与线性驱动件的输出端连接；在线性驱动件的直线性驱动作用下，柔性顶针件带动顶板相对底板转动。第一柔性铰链结构和第二柔性铰链结构分别固定于底板上，第一柔性铰链结构和第二柔性铰链结构的活动端分别与顶板连接。本申请提供的角度调节装置能够实现反射镜调节的高稳定性、超高角分辨率和高重复精度性，同时该装置具有更高的结构刚度，能有效提高反射镜系统的X射线光斑的分辨率和稳定性，提升装置实验性能。
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公开(公告)号：CN116626906A
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN202310435304.X
申请日：2023-04-19
申请人： 深圳综合粒子设施研究院
摘要： 本申请提供了一种单色器晶体的热缓释方法，该热缓释方法包括：夹持组件与冷却基座配合夹持晶体本体的非受光区和换热介质；向冷却基座上的冷却通道中通入冷却液体；将入射光线照射于晶体本体的受光区。本申请中的非受光区的厚度大于受光区的厚度，两个非受光区可起到对受光区的结构强化以及换热强化作用，提高冷却效率以及加强晶体本体的抗翘曲能力；晶体本体吸收的热量可由换热介质传递至冷却基座上，并随冷却通道中循环的冷却液体带走，起到对晶体本体的有效冷却。该热缓释方法可显著提升晶体本体的结构刚度和抗翘曲能力，在高热负载作用下保持较高的面型精度，能适用于尺寸较薄的分光晶体。
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公开(公告)号：CN118582504A
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202410561901.1
申请日：2024-05-08
申请人： 深圳综合粒子设施研究院
IPC分类号： F16F15/067 , F16M11/04 , G21K1/06
摘要： 本发明公开了一种光学元件冷却结构的减振支撑装置，减振支撑装置至少设置有一个减振支撑机构，减振支撑机构包括弹簧支架结构和平面柔性铰链结构；弹簧支架结构包括支架底板和弹簧组件，支架底板的第一表面与冷却结构固定连接，弹簧组件穿过支架底板的第二表面后与平面柔性铰链结构的第一表面固定连接，弹簧组件用于吸收第一方向的振动和/或俯仰角方向的角度振动；平面柔性铰链结构用于吸收第二方向的振动、第三方向的振动、滚动角方向的角度振动和/或方位角方向的角度振动。通过弹簧支架结构和平面柔性铰链结构实现冷却结构的六自由度减振调节，提高反射镜的稳定性，从而提高光束输出性能，可广泛应用于光学设备技术领域。
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公开(公告)号：CN118330874A
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN202410581812.3
申请日：2024-05-11
申请人： 深圳综合粒子设施研究院
摘要： 本发明公开了一种多维运动平台及反射镜装置，涉及机械设计与制造技术领域。其中，多维运动平台包括基座、第一竖直滑台机构、第二竖直滑台机构、铰链机构组以及水平运动机构，铰链机构组与第一竖直滑台机构和第二竖直滑台机构连接，第一竖直滑台机构和第二竖直滑台机构在同步运动时带动被载物品沿竖直方向运动，在进行异步运动时带动铰链机构组转动，以带动被载物品绕水平轴转动；水平运动机构设于铰链机构组上，用于带动被载物品在水平面内移动和/或绕竖直轴转动。本发明提供的技术方案可实现多自由度运动调节，每一自由度的调节可独立控制，避免了相互影响，调节灵活且安全高效。
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公开(公告)号：CN118330840A
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN202410574315.0
申请日：2024-05-10
申请人： 深圳综合粒子设施研究院
摘要： 本申请公开了一种动态压弯调节装置及光学仪器，涉及光学设备领域。动态压弯调节装置包括基座、架体、驱动件、连接件、摇臂支撑件和柔性铰链结构。两个架体间隔设在基座上，架体内设有容纳腔；两个驱动件间隔设置；每个连接件能够与一个驱动件的输出端抵接，每个摇臂支撑件对应的设置于容纳腔内，每个摇臂支撑件均设置有用于安装反射镜端部的固定位，每个摇臂支撑件分别与一个连接件远离驱动件的一端固定连接；柔性铰链结构分别设于每个架体的第三开口处并与架体固定连接，柔性铰链结构的活动端分别与摇臂支撑件连接。本申请提供的动态压弯调节装置，避免了轴承的圆跳动和间隙导致的反射镜压弯精度的问题，更好的减小了压弯误差。
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