公开(公告)号：CN103698068B

公开(公告)日：2014-11-12

申请号：CN201310656962.8

申请日：2013-12-06

申请人： 清华大学

发明人： 季林红 ,  王珂晟 ,  程嘉 ,  王兴阔 ,  徐登峰 ,  许岩 ,  张旭光 ,  杨义勇

IPC分类号： G01L5/00 ,  H01L21/66

摘要： 本发明公开了集成电路制造领域的一种静电卡盘基本性能检测装置及其检测方法。本发明提供了一种能够准确测量静电卡盘静电吸附力、晶圆脱附时间和晶圆表面温度等技术指标的装置和方法；其中，装置由驱动装置、传动装置、拉力传感器、温度测量装置、静电卡盘、真空腔室、真空获得装置和数据采集系统组成；所述驱动装置输出直线力，克服晶圆与静电卡盘之间的静摩擦力拉动晶圆，利用摩擦学原理换算得到静电力大小和晶圆脱附时间；通过红外测温仪实时采集和读取晶圆表面温度。本发明实现了上述三种检测功能的有效集成，适应性广，可用于等离子体环境中，能有效保证真空腔室的密封性。操作方便，不会造成晶圆变形和破损，测量精度高。

公开(公告)号：CN116132645B

公开(公告)日：2024-08-09

申请号：CN202310017449.8

申请日：2023-01-06

申请人： 清华大学

发明人： 谢翔 ,  薛嘉雯 ,  张旭光 ,  李国林

IPC分类号： H04N9/31 ,  G06T7/10 ,  G06V10/82 ,  G06V10/74 ,  G06V10/54 ,  G06V10/25 ,  G06T9/00

摘要： 本发明公开了一种基于深度学习的图像处理方法、装置、设备和介质，该方法包括：利用第一结构光图像对投影图像进行第一编码，得到第一编码图像，利用第一结构光图像对投影图像进行第二编码，得到第二编码图像；在利用投影设备按照时序对第一编码图像和第二编码图像进行连续投影后，获得利用图像采集设备针对被投影的第一编码图像进行采集后得到的第一采集图像和针对被投影的第二编码图像进行采集后得到的第二采集图像；以及将结构光图像对输入至训练好的神经网络模型中，得到处理结果。

公开(公告)号：CN116132645A

公开(公告)日：2023-05-16

申请号：CN202310017449.8

申请日：2023-01-06

申请人： 清华大学

发明人： 谢翔 ,  薛嘉雯 ,  张旭光 ,  李国林

IPC分类号： H04N9/31 ,  G06T7/10 ,  G06V10/82 ,  G06V10/74 ,  G06V10/54 ,  G06V10/25 ,  G06T9/00

摘要： 本发明公开了一种图像处理方法、装置、设备和介质，该方法包括：利用第一结构光图像对投影图像进行第一编码，得到第一编码图像，利用第一结构光图像对投影图像进行第二编码，得到第二编码图像；在利用投影设备按照时序对第一编码图像和第二编码图像进行连续投影后，获得利用图像采集设备针对被投影的第一编码图像进行采集后得到的第一采集图像和针对被投影的第二编码图像进行采集后得到的第二采集图像；以及将结构光图像对输入至训练好的神经网络模型中，得到处理结果。