公开(公告)号：CN104198060B

公开(公告)日：2017-01-18

申请号：CN201410426020.5

申请日：2014-08-26

Applicant: 清华大学

Inventor： 尤政 ,  王伟忠 ,  阮勇 ,  陈硕

IPC: G01K1/02 ,  G01K7/32

Abstract: 本发明提出一种耐高温无线MEMS温度传感系统，包括：无线问询单元，用于发送/接收电磁波信号，测量、存储和处理温度数据，并将温度数据作为最终传感信号；声表面波谐振装置，用于接收来自所述无线问询单元的电磁波信号，并将电磁波信号转换为声表面波后，再次将声表面波转换为新的电磁波信号，以及将新的电磁波信号反馈给无线问询单元；显示装置，用于接收并显示来自无线问询单元的温度测量结果。本系统具有无源、无线、耐高温、体积小、能够实时测量的优点。

公开(公告)号：CN104198060A

公开(公告)日：2014-12-10

申请号：CN201410426020.5

申请日：2014-08-26

Applicant: 清华大学

Inventor： 尤政 ,  王伟忠 ,  阮勇 ,  陈硕

IPC: G01K1/02 ,  G01K7/32

Abstract: 本发明提出一种耐高温无线MEMS温度传感系统，包括：无线问询单元，用于发送/接收电磁波信号，测量、存储和处理温度数据，并将温度数据作为最终传感信号；声表面波谐振装置，用于接收来自所述无线问询单元的电磁波信号，并将电磁波信号转换为声表面波后，再次将声表面波转换为新的电磁波信号，以及将新的电磁波信号反馈给无线问询单元；显示装置，用于接收并显示来自无线问询单元的温度测量结果。本系统具有无源、无线、耐高温、体积小、能够实时测量的优点。