公开(公告)号：CN108461273A

公开(公告)日：2018-08-28

申请号：CN201810161459.8

申请日：2018-02-27

申请人： 清华大学

发明人： 阮勇 ,  尤政 ,  杨建中 ,  盛文海

IPC分类号： H01F41/04 ,  H01F41/12 ,  H01F27/28 ,  H01F27/24 ,  H01F27/32

CPC分类号： H01F41/046 ,  H01F27/24 ,  H01F27/2804 ,  H01F27/323 ,  H01F27/324 ,  H01F41/122 ,  H01F41/125 ,  H01F2027/2809

摘要： 本发明涉及一种磁芯线圈的制备方法，包括如下步骤：1)制备底层导线；2)制备第一铜立柱层和第一绝缘层，其中第一绝缘层由第一光刻胶直接固化形成；3)制备磁芯导电层；4)制备第二铜立柱层、第二绝缘层、磁芯；5)制备第三铜立柱层、第三绝缘层，其中第三绝缘层由第三光刻胶直接固化形成；6)制备上层导线。本发明提供的磁芯线圈的制造方法，将三维图像分割为相互独立相互联系的二维的层结构，通过将磁芯线圈划分为多个相互独立且相互联系的层结构，通过简单的分层制造能够获得结构复杂的磁芯线圈，不需后续的刻蚀工艺，适合低成本的三维磁感线圈的制作。

公开(公告)号：CN108461273B

公开(公告)日：2019-04-05

申请号：CN201810161459.8

申请日：2018-02-27

申请人： 清华大学

发明人： 阮勇 ,  尤政 ,  杨建中 ,  盛文海

IPC分类号： H01F41/04 ,  H01F41/12 ,  H01F27/28 ,  H01F27/24 ,  H01F27/32

摘要： 本发明涉及一种磁芯线圈的制备方法，包括如下步骤：1)制备底层导线；2)制备第一铜立柱层和第一绝缘层，其中第一绝缘层由第一光刻胶直接固化形成；3)制备磁芯导电层；4)制备第二铜立柱层、第二绝缘层、磁芯；5)制备第三铜立柱层、第三绝缘层，其中第三绝缘层由第三光刻胶直接固化形成；6)制备上层导线。本发明提供的磁芯线圈的制造方法，将三维图像分割为相互独立相互联系的二维的层结构，通过将磁芯线圈划分为多个相互独立且相互联系的层结构，通过简单的分层制造能够获得结构复杂的磁芯线圈，不需后续的刻蚀工艺，适合低成本的三维磁感线圈的制作。