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公开(公告)号：CN110007385B
公开(公告)日：2020-08-11
申请号：CN201910424435.1
申请日：2019-05-21
Applicant: 清华大学
IPC: G02B5/18
Abstract: 本公开是关于一种用于制作光栅的全息曝光系统及方法，该系统包括改变光束偏振方向的第一波片和第二波片；偏振分光镜，将光源的光束分为第一光束和第二光束，并分别传至第一针孔滤波器和反射镜；第二波片，使第二光束与第一光束的偏振方向一致；反射镜，将第二光束反射至第二针孔滤波器；第一针孔滤波器和第二针孔滤波器分别对第一光束和第二光束进行滤波扩束，然后将第一光束和第二光束同时发送至准直镜的一侧；准直镜，位于两个针孔滤波器的中心光轴的会聚处，将第一光束和第二光束准直并发送至其另一侧形成干涉区，使其中的基板表面形成光栅图案；基板支架，用于安装基板并调节其位置。根据本公开实施例的系统可以制备高质量的大周期光栅。
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公开(公告)号：CN110007385A
公开(公告)日：2019-07-12
申请号：CN201910424435.1
申请日：2019-05-21
Applicant: 清华大学
IPC: G02B5/18
Abstract: 本公开是关于一种用于制作光栅的全息曝光系统及方法，该系统包括改变光束偏振方向的第一波片和第二波片；偏振分光镜，将光源的光束分为第一光束和第二光束，并分别传至第一针孔滤波器和反射镜；第二波片，使第二光束与第一光束的偏振方向一致；反射镜，将第二光束反射至第二针孔滤波器；第一针孔滤波器和第二针孔滤波器分别对第一光束和第二光束进行滤波扩束，然后将第一光束和第二光束同时发送至准直镜的一侧；准直镜，位于两个针孔滤波器的中心光轴的会聚处，将第一光束和第二光束准直并发送至其另一侧形成干涉区，使其中的基板表面形成光栅图案；基板支架，用于安装基板并调节其位置。根据本公开实施例的系统可以制备高质量的大周期光栅。
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公开(公告)号：CN105424185B
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：CN201510742107.8
申请日：2015-11-04
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种计算机辅助的全波段光谱仪波长标定方法，涉及采用阵列式探测器光谱仪的波长标定方法，属于计算机辅助光谱仪波长标定技术领域。其特征在依次含有下步骤：(1)构建一个含有组合光源和计算机程序的光谱仪用波长标定系统；(2)将组合光源谱线波长，光谱仪基本参数和标定条件输入到计算机；(3)依次获取所有标定谱线的数据；(4)用不同方法对谱线数据进行谱线轮廓重建并确定峰值位置；(5)用三阶多项式拟合“峰值波长——像素位置”数据得到标定结果；(6)校验结果；(7)比较不同寻峰方法的误差程度并选出精度最高作为最终结果。本发明将标定过程进行自动化并解决了当前光谱仪波长标定存在的问题，提高了波长标定结果的精度。
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公开(公告)号：CN105424185A
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201510742107.8
申请日：2015-11-04
Applicant: 清华大学
CPC classification number: G01J3/10 , G01J3/28 , G01J3/2823 , G01J2003/106
Abstract: 一种计算机辅助的全波段光谱仪波长标定方法，涉及采用阵列式探测器光谱仪的波长标定方法，属于计算机辅助光谱仪波长标定技术领域。其特征在依次含有下步骤：(1)构建一个含有组合光源和计算机程序的光谱仪用波长标定系统；(2)将组合光源谱线波长，光谱仪基本参数和标定条件输入到计算机；(3)依次获取所有标定谱线的数据；(4)用不同方法对谱线数据进行谱线轮廓重建并确定峰值位置；(5)用三阶多项式拟合“峰值波长——像素位置”数据得到标定结果；(6)校验结果；(7)比较不同寻峰方法的误差程度并选出精度最高作为最终结果。本发明将标定过程进行自动化并解决了当前光谱仪波长标定存在的问题，提高了波长标定结果的精度。
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