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发明公开
一种模块化入射的快速缪勒矩阵测量装置和方法审中-实审

公开(公告)号：CN117434004A

公开(公告)日：2024-01-23

申请号：CN202311231185.2

申请日：2023-09-22

申请人： 清华大学深圳国际研究生院

发明人： 何宏辉 , 张政 , 马辉

IPC分类号： G01N21/21 , G06F17/16 , G01N21/01

摘要： 本发明提出一种模块化入射的快速缪勒矩阵测量装置和方法，该装置包括光源、自定义入射起偏模块、超透镜偏振阵列、成像传感器、丝杆直线电机以及处理单元，光源发出的光依次经过自定义入射起偏模块、待测样品和超透镜偏振阵列、成像传感器，丝杆直线电机驱动自定义入射起偏模块直线移动遍历切换模块中各偏振单元进入光路，入射光经过偏振单元后，由超透镜偏振阵列检偏、成像传感器采集，处理单元根据成像传感器采集的图像，利用入射光经自定义入射起偏模块后的斯托克斯张量、图像中的每个超级像素点对应的出射光斯托克斯张量和超透镜偏振阵列的仪器矩阵重建出样品的缪勒矩阵。从而实现更快速、准确的缪勒矩阵偏振成像。