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公开(公告)号：CN108225187A
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201810085281.3
申请日：2018-01-29
Applicant: 清华大学深圳研究生院 , 玉晶光电(厦门)有限公司
Abstract: 本发明公开了一种基于波前传感的非球面透镜误差检测方法和装置，包括：获取透镜的波前泽尼克项与透镜加工误差之间的对应关系；基于所述对应关系，利用待测非球面透镜的实际波前来溯源检测所述非球面透镜的加工误差；其中，获取所述对应关系的过程具体包括：取若干用于分析的非球面透镜素材，分别进行波前检测和仿真，并计算各所述非球面透镜素材的实际和理论波前之间的偏差；根据同误差近似分布原则，对波前仿真测得的多个系数未知的泽尼克项进行系统聚类和相关性分析，以确定可代表不同加工误差的典型泽尼克项。本发明的方法属非接触式检测，方便快捷且检测过程不受操作人员主观因素影响，较为准确；尤其可用于加工流水线上的实时在线误差检测。
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公开(公告)号：CN108225187B
公开(公告)日：2020-01-14
申请号：CN201810085281.3
申请日：2018-01-29
Applicant: 清华大学深圳研究生院 , 玉晶光电(厦门)有限公司
Abstract: 本发明公开了一种基于波前传感的非球面透镜误差检测方法和装置，包括：获取透镜的波前泽尼克项与透镜加工误差之间的对应关系；基于所述对应关系，利用待测非球面透镜的实际波前来溯源检测所述非球面透镜的加工误差；其中，获取所述对应关系的过程具体包括：取若干用于分析的非球面透镜素材，分别进行波前检测和仿真，并计算各所述非球面透镜素材的实际和理论波前之间的偏差；根据同误差近似分布原则，对波前仿真测得的多个系数未知的泽尼克项进行系统聚类和相关性分析，以确定可代表不同加工误差的典型泽尼克项。本发明的方法属非接触式检测，方便快捷且检测过程不受操作人员主观因素影响，较为准确；尤其可用于加工流水线上的实时在线误差检测。
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公开(公告)号：CN110319793B
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN201910722631.7
申请日：2019-08-06
Applicant: 清华大学深圳研究生院
Abstract: 一种透射旋转对称非球面检测系统，该系统包括在光路上依次设置的激光器、准直透镜、聚焦透镜、待测镜片托盘、扩束镜和波前传感器，用于驱动聚焦透镜沿光轴方向移动的第一驱动器，用于驱动待测镜片托盘沿垂直光轴的XY方向平移的第二驱动器，用于驱动扩束镜沿光轴方向移动的第三驱动器，以及旋转位移器，对放置在待测镜片托盘的镜片限位孔中的待测镜片进行旋转。使用本系统的检测方法中，将波前三阶Coma像差的一阶旋转特征应用于误差分析，确定三阶Coma像差的节点位置和对应的矢径的分布，将矢径的分布图及参数与标准元件对比，实现快速地对镜片加工偏心等误差的高精度检测。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110320011B
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN201910722632.1
申请日：2019-08-06
Applicant: 清华大学深圳研究生院
IPC: G01M11/02
Abstract: 一种透射波前检测系统和方法，该系统包括在光路上依次设置的激光器、准直透镜、聚焦透镜、待测镜片托盘、扩束镜和波前传感器，以及与所述聚焦透镜相耦合用于驱动所述聚焦透镜沿光轴方向移动的第一驱动器，与所述待测镜片托盘相耦合用于驱动所述待测镜片托盘沿垂直光轴的XY方向平移的第二驱动器，与所述扩束镜相耦合用于驱动所述扩束镜沿光轴方向移动的第三驱动器。使用该检测系统的方法，根据扩束镜位移前后测得的波前测量数据，计算得到差分补偿的波前，能够改善测量系数矩阵的稀疏性，有效降低模态耦合的影响，提高波前测量的准确性。
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公开(公告)号：CN110320011A
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201910722632.1
申请日：2019-08-06
Applicant: 清华大学深圳研究生院
IPC: G01M11/02
Abstract: 一种透射波前检测系统和方法，该系统包括在光路上依次设置的激光器、准直透镜、聚焦透镜、待测镜片托盘、扩束镜和波前传感器，以及与所述聚焦透镜相耦合用于驱动所述聚焦透镜沿光轴方向移动的第一驱动器，与所述待测镜片托盘相耦合用于驱动所述待测镜片托盘沿垂直光轴的XY方向平移的第二驱动器，与所述扩束镜相耦合用于驱动所述扩束镜沿光轴方向移动的第三驱动器。使用该检测系统的方法，根据扩束镜位移前后测得的波前测量数据，计算得到差分补偿的波前，能够改善测量系数矩阵的稀疏性，有效降低模态耦合的影响，提高波前测量的准确性。
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公开(公告)号：CN110319793A
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201910722631.7
申请日：2019-08-06
Applicant: 清华大学深圳研究生院
Abstract: 一种透射旋转对称非球面检测系统，该系统包括在光路上依次设置的激光器、准直透镜、聚焦透镜、待测镜片托盘、扩束镜和波前传感器，用于驱动聚焦透镜沿光轴方向移动的第一驱动器，用于驱动待测镜片托盘沿垂直光轴的XY方向平移的第二驱动器，用于驱动扩束镜沿光轴方向移动的第三驱动器，以及旋转位移器，对放置在待测镜片托盘的镜片限位孔中的待测镜片进行旋转。使用本系统的检测方法中，将波前三阶Coma像差的一阶旋转特征应用于误差分析，确定三阶Coma像差的节点位置和对应的矢径的分布，将矢径的分布图及参数与标准元件对比，实现快速地对镜片加工偏心等误差的高精度检测。
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公开(公告)号：CN210005216U
公开(公告)日：2020-01-31
申请号：CN201921263808.3
申请日：2019-08-06
Applicant: 清华大学深圳研究生院
IPC: G01M11/02
Abstract: 一种透射波前检测设备，包括在光路上依次设置的激光器、准直透镜、聚焦透镜、待测镜片托盘、扩束镜和波前传感器，以及与所述聚焦透镜相耦合用于驱动所述聚焦透镜沿光轴方向移动的第一驱动器，与所述待测镜片托盘相耦合用于驱动所述待测镜片托盘沿垂直光轴的XY方向平移的第二驱动器，与所述扩束镜相耦合用于驱动所述扩束镜沿光轴方向移动的第三驱动器。本检测设备能够用于提高微透镜测量的准确性。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN209978841U
公开(公告)日：2020-01-21
申请号：CN201921263819.1
申请日：2019-08-06
Applicant: 清华大学深圳研究生院
Abstract: 一种透射旋转对称非球面检测设备，该设备包括在光路上依次设置的激光器、准直透镜、聚焦透镜、待测镜片托盘、扩束镜和波前传感器，用于驱动聚焦透镜沿光轴方向移动的第一驱动器，用于驱动待测镜片托盘沿垂直光轴的XY方向平移的第二驱动器，用于驱动扩束镜沿光轴方向移动的第三驱动器，以及旋转位移器，对放置在待测镜片托盘的镜片限位孔中的待测镜片进行旋转。本检测设备能够用于快速地对镜片加工偏心等误差的高精度检测。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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