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公开(公告)号:CN112831764B
公开(公告)日:2023-04-28
申请号:CN202011603040.7
申请日:2020-12-30
申请人: 湖南柯盛新材料有限公司
IPC分类号: C23C14/35
摘要: 本发明公开了一种离心绑定ITO旋转靶材的方法,属于ITO旋转靶材加工技术领域,该方法包括以下步骤:S1、预处理:对ITO靶管内壁和背管外表面进行金属化处理;S2、组装:将背管从电热管上方往下插入,以使背管插设在安装座顶面插槽内,并使安装座上的定位筒插设在背管内;将单节ITO靶管套在背管上,并使ITO靶管插设在安装座顶面插槽内,ITO靶管与背管之间设有间隙;S3、灌铟绑定:由下往上对单节ITO靶管进行逐步绑定。本发明通过转动离心,使得熔化后的铟将紧贴ITO靶管内壁,绑定率较好。
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公开(公告)号:CN112851368A
公开(公告)日:2021-05-28
申请号:CN202110107923.7
申请日:2021-01-27
申请人: 湖南柯盛新材料有限公司
IPC分类号: C04B35/622 , C04B35/628 , C04B35/10 , C04B35/48 , C04B35/584 , C04B35/565
摘要: 本发明提供了一种非浸渍法制备覆膜耐磨陶瓷微球的方法。先采用滚制成型法得到预制球坯,接着将预制球坯的表面滚覆包覆一层热固型的有机高分子包覆层,通过控制有机高分子的加入量及滚制包覆的滚动速率进而控制包覆层的膜厚,包覆完成后进行加热固化,得到满足冷等静压工艺条件的覆膜陶瓷球坯,最后于冷等静压机中进行压制,得到复合陶瓷坯体,最后进行烧结和整形,得到烧结球坯。本发明能生产<Φ1mm的陶瓷微球,具有滚制成型法的高产量、滴球成型法的高致密性的优点。同时还具有作业环境友好,覆膜可控的优点。
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公开(公告)号:CN112746260A
公开(公告)日:2021-05-04
申请号:CN202011612505.5
申请日:2020-12-30
申请人: 湖南柯盛新材料有限公司
摘要: 本发明公开了一种冷喷涂制造旋转靶材的工艺及其生产设备,工艺包括如下步骤:1)对基体依次进行超声波清洗、烘干、喷砂处理;2)对基体所在区域进行抽真空操作;3)将ITO粉末导入喷枪内;同时在喷枪内导入惰性气体;4)驱动控制基体旋转,并控制喷枪沿基体轴向方向运动,使得ITO靶材呈成型。通过上述步骤制备的ITO靶材,由于喷涂时始终处于氦气保护氛围中,降低了氧含量和其他杂质的混入,此外,靶材在冷喷涂时,颗粒高速撞击基体充分变形形成涂层,涂层组织致密,靶材的相对密度可以达到99.9%以上,靶材内部晶粒组织均匀细小,无缺陷组织,同时沉积效率高,降低了生产成本。
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公开(公告)号:CN112723885B
公开(公告)日:2022-05-03
申请号:CN202110107922.2
申请日:2021-01-27
申请人: 湖南柯盛新材料有限公司
IPC分类号: C04B35/48 , C04B35/622 , C04B35/645 , H04M1/18
摘要: 本发明提供了一种氧化锆基陶瓷背板及其制备方法和用途,通过以氧化锆、氯氧化锆和六硼化镧作为初始原料,然后在粘结剂的存在下经过混匀、水解、干燥并采用超高压冷等静压预处理获得坯体,该坯体无有机挥发,气孔率低,无密度梯度。胚体再经过预烧结、切片和二次烧结处理后获得氧化锆陶瓷背板,胚体烧结后获得的氧化锆陶瓷背板烧结致密度好,强度高,耐磨性强,具有较高的韧性、强度、硬度以及优良的耐磨性格热稳定性。
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公开(公告)号:CN112725753A
公开(公告)日:2021-04-30
申请号:CN202011603008.9
申请日:2020-12-30
申请人: 湖南柯盛新材料有限公司
摘要: 本发明公开了一种一次离心绑定多节ITO旋转靶材的方法,属于ITO旋转靶材加工技术领域,该方法包括以下步骤:S1、预处理:对ITO靶管内壁和背管外表面进行金属化处理;S2、组装:将背管从电热管上方往下插入,以使背管插设在安装座顶面插槽内,并使安装座上的定位筒插设在背管内;将多节ITO靶管由下往上依次套在背管上,上下相邻ITO靶管通过密封圈密封,最下节的ITO靶管插设在安装座顶面插槽内,ITO靶管与背管之间设有间隙;S3、灌铟;S4、离心绑定。本发明先将待绑定的ITO靶管一次组装好,然后再进行整体灌铟和转动离心,使得熔化后的铟紧贴ITO靶管内壁,绑定率较好。
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公开(公告)号:CN112746260B
公开(公告)日:2023-02-28
申请号:CN202011612505.5
申请日:2020-12-30
申请人: 湖南柯盛新材料有限公司
摘要: 本发明公开了一种冷喷涂制造旋转靶材的工艺及其生产设备,工艺包括如下步骤:1)对基体依次进行超声波清洗、烘干、喷砂处理;2)对基体所在区域进行抽真空操作;3)将ITO粉末导入喷枪内;同时在喷枪内导入惰性气体;4)驱动控制基体旋转,并控制喷枪沿基体轴向方向运动,使得ITO靶材呈成型。通过上述步骤制备的ITO靶材,由于喷涂时始终处于氦气保护氛围中,降低了氧含量和其他杂质的混入,此外,靶材在冷喷涂时,颗粒高速撞击基体充分变形形成涂层,涂层组织致密,靶材的相对密度可以达到99.9%以上,靶材内部晶粒组织均匀细小,无缺陷组织,同时沉积效率高,降低了生产成本。
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公开(公告)号:CN112725753B
公开(公告)日:2023-02-24
申请号:CN202011603008.9
申请日:2020-12-30
申请人: 湖南柯盛新材料有限公司
摘要: 本发明公开了一种一次离心绑定多节ITO旋转靶材的方法,属于ITO旋转靶材加工技术领域,该方法包括以下步骤:S1、预处理:对ITO靶管内壁和背管外表面进行金属化处理;S2、组装:将背管从电热管上方往下插入,以使背管插设在安装座顶面插槽内,并使安装座上的定位筒插设在背管内;将多节ITO靶管由下往上依次套在背管上,上下相邻ITO靶管通过密封圈密封,最下节的ITO靶管插设在安装座顶面插槽内,ITO靶管与背管之间设有间隙;S3、灌铟;S4、离心绑定。本发明先将待绑定的ITO靶管一次组装好,然后再进行整体灌铟和转动离心,使得熔化后的铟紧贴ITO靶管内壁,绑定率较好。
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公开(公告)号:CN112851368B
公开(公告)日:2022-06-07
申请号:CN202110107923.7
申请日:2021-01-27
申请人: 湖南柯盛新材料有限公司
IPC分类号: C04B35/622 , C04B35/628 , C04B35/10 , C04B35/48 , C04B35/584 , C04B35/565
摘要: 本发明提供了一种非浸渍法制备覆膜耐磨陶瓷微球的方法。先采用滚制成型法得到预制球坯,接着将预制球坯的表面滚覆包覆一层热固型的有机高分子包覆层,通过控制有机高分子的加入量及滚制包覆的滚动速率进而控制包覆层的膜厚,包覆完成后进行加热固化,得到满足冷等静压工艺条件的覆膜陶瓷球坯,最后于冷等静压机中进行压制,得到复合陶瓷坯体,最后进行烧结和整形,得到烧结球坯。本发明能生产<Φ1mm的陶瓷微球,具有滚制成型法的高产量、滴球成型法的高致密性的优点。同时还具有作业环境友好,覆膜可控的优点。
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公开(公告)号:CN112831764A
公开(公告)日:2021-05-25
申请号:CN202011603040.7
申请日:2020-12-30
申请人: 湖南柯盛新材料有限公司
IPC分类号: C23C14/35
摘要: 本发明公开了一种离心绑定ITO旋转靶材的方法,属于ITO旋转靶材加工技术领域,该方法包括以下步骤:S1、预处理:对ITO靶管内壁和背管外表面进行金属化处理;S2、组装:将背管从电热管上方往下插入,以使背管插设在安装座顶面插槽内,并使安装座上的定位筒插设在背管内;将单节ITO靶管套在背管上,并使ITO靶管插设在安装座顶面插槽内,ITO靶管与背管之间设有间隙;S3、灌铟绑定:由下往上对单节ITO靶管进行逐步绑定。本发明通过转动离心,使得熔化后的铟将紧贴ITO靶管内壁,绑定率较好。
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公开(公告)号:CN112723885A
公开(公告)日:2021-04-30
申请号:CN202110107922.2
申请日:2021-01-27
申请人: 湖南柯盛新材料有限公司
IPC分类号: C04B35/48 , C04B35/622 , C04B35/645 , H04M1/18
摘要: 本发明提供了一种氧化锆基陶瓷背板及其制备方法和用途,通过以氧化锆、氯氧化锆和六硼化镧作为初始原料,然后在粘结剂的存在下经过混匀、水解、干燥并采用超高压冷等静压预处理获得坯体,该坯体无有机挥发,气孔率低,无密度梯度。胚体再经过预烧结、切片和二次烧结处理后获得氧化锆陶瓷背板,胚体烧结后获得的氧化锆陶瓷背板烧结致密度好,强度高,耐磨性强,具有较高的韧性、强度、硬度以及优良的耐磨性格热稳定性。
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