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公开(公告)号:CN102343629A
公开(公告)日:2012-02-08
申请号:CN201110208805.1
申请日:2011-07-25
摘要: 本发明涉及一种脆性材料的切割装置及切割方法,该装置具备:凹坑形成机构,沿着切割预定线(Sp)在脆性材料(1)的表面上形成多个凹坑(D);切割刀(31),在脆性材料(1)的表面上形成划线(S);沿着切割预定线(Sp)在脆性材料(1)的表面上形成多个凹坑(D),之后沿着形成有该凹坑(D)的切割预定线(Sp)相对移动脆性材料(1)和切割刀(31),从而在脆性材料(1)的表面上形成划线(S)。根据本发明,可抑制碎屑和水平裂纹的产生,同时能够使从划线(S)的裂纹向深处扩展。
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公开(公告)号:CN102343631A
公开(公告)日:2012-02-08
申请号:CN201110204884.9
申请日:2011-07-21
申请人: 澁谷工业株式会社
发明人: 小关良治
IPC分类号: B28D5/00 , B23K26/00 , B23K26/04 , H01L21/304
CPC分类号: C03B29/025
摘要: 本发明涉及脆性材料的倒角方法及其装置,该倒角装置(1)包含:倒角单元(5),将板状脆性材料(2)的端面(2A)予以倒角;移动单元(6),使倒角单元(5)移动。将正方形的脆性材料(2)搬入吸附台(3)上时,壳体(7)通过移动单元(6)而前进,且脆性材料(2)的端面(2A)插入到其收容部(7B)。在该状态下,由于将负压导入负压室(7A)并且将电压施加于电极(11A、11B),所以在其间产生辉光放电,使端面(2A)被加热。在该状态下,由于壳体(7)沿着端面(2A)的长度方向移动,所以端面(2A)的上边缘部(2C)、下边缘部(2E)的全区域被熔化而倒角。本发明能提供构成比以往更简约的倒角装置(1)。
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