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公开(公告)号：CN112345494B
公开(公告)日：2022-06-03
申请号：CN202011165140.6
申请日：2020-10-27
Applicant: 燕山大学
IPC: G01N21/41
Abstract: 本发明涉及一种石墨烯修饰的长程表面等离子体共振传感器芯片，属于测量技术领域，更具体地涉及传感器芯片技术领域，包括传感器芯片基体，所述传感器芯片基体为高折射率棱镜，所述传感器芯片基体的上方依次镀有介质Cytop层和半导体TDBC膜，所述半导体TDBC膜上涂有石墨烯层。本发明的灵敏度最大可为3243 RIU‑1，使传感器实现了对物质分子快速、高灵敏度、稳定的响应信号特性。
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公开(公告)号：CN112345114A
公开(公告)日：2021-02-09
申请号：CN202010964296.4
申请日：2020-09-15
Applicant: 燕山大学
Abstract: 本发明公开了一种基于一维光子晶体纳米束腔的双参数传感结构，属于光子晶体传感器技术领域，所述双参数传感结构是基于在三个并行排列的一维光子晶体纳米束波导上刻蚀呈周期排列的空气孔而形成的微腔结构进行设计的，由位于绝缘层上方三个并行排列的一维光子晶体纳米束腔构成，包括位于中间的带有宽带隙的纳米束微腔、位于一侧的空气模纳米腔和位于另一侧的介电模纳米腔。本发明制得的光子晶体纳米束传感器能够实现对折射率与温度的同时检测，通过分析计算得空气模纳米腔的折射率灵敏度和温度灵敏度分别为377.2nm/RIU和101pm/K；介电模纳米腔的折射率灵敏度和温度灵敏度分别为194nm/RIU和261pm/K。
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公开(公告)号：CN113405991A
公开(公告)日：2021-09-17
申请号：CN202110671662.1
申请日：2021-06-17
Applicant: 燕山大学
IPC: G01N21/01 , G01N21/552
Abstract: 本发明公开一种双通道同步检测的光子晶体光纤传感器，其包括传感器本体和基底，水平y方向上作为传感通道的大空气孔，以及五层呈六边形排列的小空气孔。在大空气孔内壁涂覆用以激发SPR效应的双层膜并填充待测液体，第一传感通道内为Au‑Ta2O5、第二传感通道内为Ag‑Ta2O5。光纤内两种基本偏振模式y偏振、x偏振分别对第一传感通道与第二传感通道内待测折射率变化敏感，当传感通道内溶液折射率发生改变，对应偏振模式损耗光谱的损耗峰将发生移动，而另一模式的对应损耗峰位置则不受其影响。利用上述双通道响应的折射率敏感性以及高度独立性，通过检测两种偏振模式损耗谱的损耗峰对应波长即可分别确定双通道内待测介质的折射率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111157491B
公开(公告)日：2021-09-14
申请号：CN202010025567.X
申请日：2020-01-10
Applicant: 燕山大学
IPC: G01N21/41
Abstract: 本发明公开了一种光子晶体微腔与光波导侧向耦合的阵列传感结构，所述阵列传感结构基于空气孔呈三角晶格的二维光子晶体结构进行设计的，所述二维光子晶体结构为圆形空气柱在硅板上呈三角形晶格进行周期排列而形成的二维光子晶体硅平板结构，通过移除中间一行的空气孔形成光子晶体线型波导W1，在W1波导两侧各引入三个光子晶体微腔，每个光子晶体微腔包括聚集呈边长小于晶格常数a的等边三角形排列的三个空气孔，并在垂直于三角形边长的垂线方向各放置一个小空气孔作为功能孔，所述功能孔半径r2小于空气孔半径R，本发明通过分析计算得到每个光子晶体微腔的品质因子Q和灵敏度S都分别超过1×104和120nm/RUI。
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公开(公告)号：CN112345114B
公开(公告)日：2021-07-30
申请号：CN202010964296.4
申请日：2020-09-15
Applicant: 燕山大学
Abstract: 本发明公开了一种基于一维光子晶体纳米束腔的双参数传感结构，属于光子晶体传感器技术领域，所述双参数传感结构是基于在三个并行排列的一维光子晶体纳米束波导上刻蚀呈周期排列的空气孔而形成的微腔结构进行设计的，由位于绝缘层上方三个并行排列的一维光子晶体纳米束腔构成，包括位于中间的带有宽带隙的纳米束微腔、位于一侧的空气模纳米腔和位于另一侧的介电模纳米腔。本发明制得的光子晶体纳米束传感器能够实现对折射率与温度的同时检测，通过分析计算得空气模纳米腔的折射率灵敏度和温度灵敏度分别为377.2nm/RIU和101pm/K；介电模纳米腔的折射率灵敏度和温度灵敏度分别为194nm/RIU和261pm/K。
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公开(公告)号：CN112345494A
公开(公告)日：2021-02-09
申请号：CN202011165140.6
申请日：2020-10-27
Applicant: 燕山大学
IPC: G01N21/41
Abstract: 本发明涉及一种石墨烯修饰的长程表面等离子体共振传感器芯片，属于测量技术领域，更具体地涉及传感器芯片技术领域，包括传感器芯片基体，所述传感器芯片基体为高折射率棱镜，所述传感器芯片基体的上方依次镀有介质Cytop层和半导体TDBC膜，所述半导体TDBC膜上涂有石墨烯层。本发明的灵敏度最大可为3243 RIU‑1，使传感器实现了对物质分子快速、高灵敏度、稳定的响应信号特性。
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公开(公告)号：CN111157491A
公开(公告)日：2020-05-15
申请号：CN202010025567.X
申请日：2020-01-10
Applicant: 燕山大学
IPC: G01N21/41
Abstract: 本发明公开了一种光子晶体微腔与光波导侧向耦合的阵列传感结构，所述阵列传感结构基于空气孔呈三角晶格的二维光子晶体结构进行设计的，所述二维光子晶体结构为圆形空气柱在硅板上呈三角形晶格进行周期排列而形成的二维光子晶体硅平板结构，通过移除中间一行的空气孔形成光子晶体线型波导W1，在W1波导两侧各引入三个光子晶体微腔，每个光子晶体微腔包括聚集呈边长小于晶格常数a的等边三角形排列的三个空气孔，并在垂直于三角形边长的垂线方向各放置一个小空气孔作为功能孔，所述功能孔半径r2小于空气孔半径R，本发明通过分析计算得到每个光子晶体微腔的品质因子Q和灵敏度S都分别超过1×104和120nm/RUI。
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