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公开(公告)号：CN109825818B
公开(公告)日：2024-01-23
申请号：CN201910244709.9
申请日：2019-03-28
申请人： 爱发科真空技术(苏州)有限公司
发明人： 张军委
IPC分类号： C23C16/455
摘要： 本发明涉及化学气相沉积设备领域，公开了一种自适应调节进气转接结构，包括：开设在腔体门上的台阶孔；配合设置在台阶孔内的进气动模块，进气动模块上具有大圆孔和小圆孔；固定在腔体门上用于封闭台阶孔的压板，压板上设有板孔、与布气机构相连的气体管路，气体管路通过板孔与台阶孔相通；被压板压制在进气动模块上的弹簧；设于腔体本体上可与小圆孔连通的进气口；密封压板与腔体门的第一密封圈；密封进气动模块与腔体门的第二密封圈；在腔体门关闭后、密封进气动模块与腔体本体的第三密封圈。通过上述方式，本发明能够使多处密封不冲突，保证各处的密封效果，基本消除了因内部密封不良造成腔体内漏气而影响成膜均匀性的问题。
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公开(公告)号：CN109972943A
公开(公告)日：2019-07-05
申请号：CN201910345827.9
申请日：2019-04-26
申请人： 爱发科真空技术(苏州)有限公司
发明人： 张军委
摘要： 本发明公开了一种门开闭位置锁住机构，包括：呈矩形的壳体，可上下活动的插设在壳体上的锁销，横向插设在壳体上的限位柱，设置在壳体内并关于锁销对称的两个拉伸弹簧，设置在壳体上控制锁销向下移动的A踏板，以及设置在限位柱上控制锁销向上移动的B踏板；限位柱与锁销于所述壳体的内部垂直固定相连；拉伸弹簧限制限位柱在不受外力的情况下位于条形孔的最上方；A踏板与B踏板通过活动转轴联动；踩踏A踏板，限位柱沿着条形孔向下移动，以使锁住机构对应处于锁定状态；踩踏B踏板，限位柱沿着条形孔向上移动，以使锁住机构对应处于初始状态。通过上述方式，本发明能够通过脚踏的方式对设备门的任意打开位置进行固定，易操作，安全性好。
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公开(公告)号：CN109825818A
公开(公告)日：2019-05-31
申请号：CN201910244709.9
申请日：2019-03-28
申请人： 爱发科真空技术(苏州)有限公司
发明人： 张军委
IPC分类号： C23C16/455
摘要： 本发明涉及化学气相沉积设备领域，公开了一种自适应调节进气转接结构，包括：开设在腔体门上的台阶孔；配合设置在台阶孔内的进气动模块，进气动模块上具有大圆孔和小圆孔；固定在腔体门上用于封闭台阶孔的压板，压板上设有板孔、与布气机构相连的气体管路，气体管路通过板孔与台阶孔相通；被压板压制在进气动模块上的弹簧；设于腔体本体上可与小圆孔连通的进气口；密封压板与腔体门的第一密封圈；密封进气动模块与腔体门的第二密封圈；在腔体门关闭后、密封进气动模块与腔体本体的第三密封圈。通过上述方式，本发明能够使多处密封不冲突，保证各处的密封效果，基本消除了因内部密封不良造成腔体内漏气而影响成膜均匀性的问题。
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公开(公告)号：CN110067869A
公开(公告)日：2019-07-30
申请号：CN201910452122.7
申请日：2019-05-28
申请人： 爱发科真空技术(苏州)有限公司
发明人： 张军委
摘要： 本发明涉及阀门领域，公开了一种斜向推拉挡板阀，包括用于密封封闭贯穿口的隔离挡板，用于辅助隔离挡板封闭贯穿口的导向机构，以及用于控制隔离挡板是否封闭贯穿口的推拉机构；导向机构固定在腔室内，推拉机构倾斜设置在腔室上，推拉机构与导向机构相对并分别位于贯穿口两侧；隔离挡板固定在推拉机构上；推拉机构伸长推动隔离挡板向贯穿口靠近，当推拉机构与导向机构接触调整后，推拉机构停止推动，隔离挡板封闭贯穿口；推拉机构缩短拉动隔离挡板打开并远离贯穿口，直至隔离挡板不在贯穿口的延伸范围内，推拉机构停止拉动。通过上述方式，本发明能够解决各腔室之间封闭隔离及贯通的问题，还降低了安装调试难度，且容易控制、使用成本低。
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公开(公告)号：CN109972943B
公开(公告)日：2024-01-23
申请号：CN201910345827.9
申请日：2019-04-26
申请人： 爱发科真空技术(苏州)有限公司
发明人： 张军委
摘要： 本发明公开了一种门开闭位置锁住机构，包括：呈矩形的壳体，可上下活动的插设在壳体上的锁销，横向插设在壳体上的限位柱，设置在壳体内并关于锁销对称的两个拉伸弹簧，设置在壳体上控制锁销向下移动的A踏板，以及设置在限位柱上控制锁销向上移动的B踏板；限位柱与锁销于所述壳体的内部垂直固定相连；拉伸弹簧限制限位柱在不受外力的情况下位于条形孔的最上方；A踏板与B踏板通过活动转轴联动；踩踏A踏板，限位柱沿着条形孔向下移动，以使锁住机构对应处于锁定状态；踩踏B踏板，限位柱沿着条形孔向上移动，以使锁住机构对应处于初始状态。通过上述方式，本发明能够通过脚踏的方式对设备门的任意打开位置进行固定，易操作，安全性好。
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公开(公告)号：CN213084836U
公开(公告)日：2021-04-30
申请号：CN202022055814.9
申请日：2020-09-18
申请人： 爱发科真空技术(苏州)有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种蒸发台，包括：衬底载体，所述衬底载体具有一镂空开口；回转机构，所述回转机构与所述衬底载体连接，所述回转机构包括回转密封外层、回转密封中层、回转密封内层，所述回转密封内层为空心结构，所述回转密封内层与所述衬底载体的镂空开口对应；且，所述回转密封中层可在所述回转密封外层与所述回转密封内层之间转动；驱动机构，所述驱动机构与所述回转机构连接，且，所述驱动机构驱动所述回转机构转动。本实用新使用双层回转密封结构取代轴心驱动的方式，规避了中间位置支撑条遮挡传感器的问题，使得测定结果准确，工艺设定更为直接，更为高效。
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公开(公告)号：CN210289525U
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201920879846.5
申请日：2019-06-12
申请人： 爱发科真空技术(苏州)有限公司
发明人： 张军委
摘要： 本实用新型涉及大型真空设备领域，公开了一种真空推拉式移门结构，包括移门本体、导轨、吊挂机构和门体压紧机构；移门本体通过吊挂机构悬挂在导轨上；吊挂机构包括依次相连的挂具体、上固定座、活动挂板和下固定座，活动挂板两端分别与上固定座和下固定座可转动连接；导轨横向位于腔体的上方；门体压紧机构配合移门本体固定在腔体上，移门本体在关闭过程中，移门本体逐渐靠近门体压紧机构、在移门本体与门体压紧机构接触后、移门本体受门体压紧机构的限制逐渐向腔体平移靠近、直至移门本体完全封闭腔体的开口。通过上述方式，本实用新型能够有效的降低腔体门开关动作所需占用的空间体积，同时还大大降低了腔体门的安装难度，并且其整体结构简单。
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公开(公告)号：CN213652623U
公开(公告)日：2021-07-09
申请号：CN202021766537.6
申请日：2020-08-21
申请人： 爱发科真空技术(苏州)有限公司
IPC分类号： C23C14/24
摘要： 本实用新型公开了一种小型化腔体及蒸发台设备，包括：第一腔体；第二腔体，所述第二腔体设置于所述第一腔体底部中心处；其中，所述第二腔体与所述第二腔体相互连通，且，所述第二腔体的体积小于所述第一腔体的体积；还包括衬底载体与蒸发源；所述衬底载体设置于所述第一腔体内侧顶部，所述蒸发源设置于所述第二腔体内侧底部。本实用新型第一腔体与第二腔体相互配合，蒸发的气体依次经过第二腔体、第一腔体以接力的方式呈球面状向外扩散，来满足扩散尺寸的要求，使得所需真空腔体尺寸规格有效减小，设备内部容积大幅度降低，从而使得真空泵抽气能力要求有效降低，抽气所需时间及破真空所需时间大幅度减小，设备制作成本大幅度降低。
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公开(公告)号：CN209855590U
公开(公告)日：2019-12-27
申请号：CN201920463278.0
申请日：2019-04-08
申请人： 爱发科真空技术(苏州)有限公司
发明人： 张军委
摘要： 本实用新型涉及立式真空设备领域，公开了一种门辅助支撑机构，包括滚动装置和对应滚动装置的矫正装置，滚动装置靠近设备门体的开合侧；滚动装置包括支撑块、支撑杆和滚轮，支撑块固定安装在设备门体上，支撑块下端面上开有轮槽，支撑杆固定在轮槽上，滚轮可转动的套设在支撑杆上，滚轮的下端凸出于支撑块下端面；矫正装置包括安装在设备本体上的固定块和固定在固定块上的楔形块，楔形块包括用于与滚轮接触以辅助支撑设备门体的平面部、以及在关门时用于与滚轮接触以调节矫正设备门体下垂的斜面部。通过上述方式，本实用新型能够解决门体安装时因重力作用导致位置倾斜不正的问题，同时可以减小铰链的承受应力，延长铰链的使用寿命。
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公开(公告)号：CN209854244U
公开(公告)日：2019-12-27
申请号：CN201920409595.4
申请日：2019-03-28
申请人： 爱发科真空技术(苏州)有限公司
发明人： 张军委
IPC分类号： C23C16/455
摘要： 本实用新型涉及化学气相沉积设备领域，公开了一种自适应调节进气转接结构，包括：开设在腔体门上的台阶孔；配合设置在台阶孔内的进气动模块，进气动模块上具有大圆孔和小圆孔；固定在腔体门上用于封闭台阶孔的压板，压板上设有板孔、与布气机构相连的气体管路，气体管路通过板孔与台阶孔相通；被压板压制在进气动模块上的弹簧；设于腔体本体上可与小圆孔连通的进气口；密封压板与腔体门的第一密封圈；密封进气动模块与腔体门的第二密封圈；在腔体门关闭后、密封进气动模块与腔体本体的第三密封圈。通过上述方式，本实用新型能够使多处密封不冲突，保证各处的密封效果，基本消除了因内部密封不良造成腔体内漏气而影响成膜均匀性的问题。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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