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公开(公告)号：CN111801498B
公开(公告)日：2023-03-10
申请号：CN201980018247.7
申请日：2019-03-08
申请人： 爱德华兹有限公司
发明人： M·R·维克斯 , N·特纳 , A·E·K·霍尔布鲁克 , S·凯拉萨姆
IPC分类号： F04C18/12
摘要： 真空泵包括：至少两个转子，每个包括至少一个叶片，至少两个转子被安装在定子内；叶片中的至少一个包括惯性卸压阀，惯性卸压阀包括：主体，被安装以在关闭位置与打开位置之间移动，在所述关闭位置中，所述主体阻塞转子的前侧与后侧之间的流体流动通道，在所述打开位置中，流体流动通道不被阻塞；其中，主体被配置成响应于由转子的旋转速度的变化触发而作用在可移动主体上的力的变化而在打开位置与关闭位置之间移动。
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公开(公告)号：CN114174679B
公开(公告)日：2023-11-24
申请号：CN202080052944.7
申请日：2020-07-22
申请人： 爱德华兹有限公司
发明人： A·E·K·霍尔布鲁克 , N·P·肖菲尔德
摘要： 一种涡旋泵(100、200)，包括：第一涡盘，其包括第一螺旋壁(124、224)；第二涡盘，所述第二涡盘包括第二螺旋壁(134、234)，所述第二螺旋壁与所述第一螺旋壁相互啮合；以及由与第一涡盘和第二涡盘不同的材料形成的衬垫(180、280)，衬垫位于第一涡盘和第二涡盘之间，在第一螺旋壁和第二螺旋壁的径向内侧或外侧。
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公开(公告)号：CN114174679A
公开(公告)日：2022-03-11
申请号：CN202080052944.7
申请日：2020-07-22
申请人： 爱德华兹有限公司
发明人： A·E·K·霍尔布鲁克 , N·P·肖菲尔德
摘要： 一种涡旋泵(100、200)，包括：第一涡盘，其包括第一螺旋壁(124、224)；第二涡盘，所述第二涡盘包括第二螺旋壁(134、234)，所述第二螺旋壁与所述第一螺旋壁相互啮合；以及由与第一涡盘和第二涡盘不同的材料形成的衬垫(180、280)，衬垫位于第一涡盘和第二涡盘之间，在第一螺旋壁和第二螺旋壁的径向内侧或外侧。
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公开(公告)号：CN115053070B
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202180014397.8
申请日：2021-02-10
申请人： 爱德华兹有限公司
发明人： A·E·K·霍尔布鲁克 , D·贝德威尔
摘要： 论述一种多级真空泵，其包括限定多个泵送室的定子。所述定子包括用于提供从所述多个泵送室中的一者的出口端口到后续泵送室的入口端口的流体通路的多个传送通道。所述传送通道中的一些包括在所述定子的相对侧上的两个侧部通道区段。所述传送通道中的一者包括在所述定子的一侧上的单个侧部通道区段。所述真空泵进一步包括布置在与所述定子的所述一侧相对的所述定子的另一侧上的气镇入口通道。
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公开(公告)号：CN116420024A
公开(公告)日：2023-07-11
申请号：CN202180074979.5
申请日：2021-10-28
申请人： 爱德华兹有限公司
发明人： A·E·K·霍尔布鲁克 , D·贝德维尔 , N·P·斯科菲尔德
IPC分类号： F04C27/00
摘要： 涡旋泵包括：入口和出口；与绕动涡盘(130)相互啮合的固定涡盘(120)，以在它们之间限定空间，用于将流体从入口泵送到出口；配置成将绕动涡盘(130)抵靠固定涡盘(120)偏压的偏压装置(170)；从所述空间通过固定涡盘(120)或绕动涡盘(130)延伸到入口的流体再循环通道(190a)；以及设置在流体再循环通道(190a)中的流体再循环阀(190b)。流体再循环阀(190b)配置成当处于打开状态时允许流体从所述空间通过流体再循环通道(190a)流动到入口，当处于关闭状态时阻止流体流动通过流体再循环通道(190a)，以及当跨过流体再循环阀(190b)的压力差等于或超过特定阈值时从关闭状态切换到打开状态。
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公开(公告)号：CN111801498A
公开(公告)日：2020-10-20
申请号：CN201980018247.7
申请日：2019-03-08
申请人： 爱德华兹有限公司
发明人： M·R·维克斯 , N·特纳 , A·E·K·霍尔布鲁克 , S·凯拉萨姆
IPC分类号： F04C18/12
摘要： 真空泵包括：至少两个转子，每个包括至少一个叶片，至少两个转子被安装在定子内；叶片中的至少一个包括惯性卸压阀，惯性卸压阀包括：主体，被安装以在关闭位置与打开位置之间移动，在所述关闭位置中，所述主体阻塞转子的前侧与后侧之间的流体流动通道，在所述打开位置中，流体流动通道不被阻塞；其中，主体被配置成响应于由转子的旋转速度的变化触发而作用在可移动主体上的力的变化而在打开位置与关闭位置之间移动。
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公开(公告)号：CN115552121A
公开(公告)日：2022-12-30
申请号：CN202180036624.7
申请日：2021-05-20
申请人： 爱德华兹有限公司
发明人： N·P·肖菲尔德 , A·E·K·霍尔布鲁克
摘要： 公开了一种涡旋泵和涡旋式真空泵。涡旋式真空泵包括：绕动涡旋部；和固定涡旋部；以及包围涡旋式真空泵的泵腔室的泵壳体。所述泵还包括具有偏心轴部分的轴向延伸的驱动轴，所述绕动涡旋部安装在所述偏心轴部分上，使得所述驱动轴的旋转向所述绕动涡旋部赋予相对于所述固定涡旋部的绕动运动；轴向调节机构，用于调节所述绕动涡旋部的轴向位置，并且从而调节所述固定涡旋部与所述绕动涡旋部之间的距离，所述轴向调节机构包括多个调节构件，所述多个调节构件围绕所述驱动轴成角度地间隔开并且朝向所述绕动涡旋部延伸穿过所述泵壳体，所述多个调节构件均被构造成提供所述绕动涡旋部的可独立调节的轴向位置；以及多个密封装置，用于将所述多个调节构件与所述泵腔室隔离，所述多个密封装置围绕所述多个调节构件中的每一者延伸并且包括至少一个柔性部分，使得所述密封装置的一端可相对于所述密封装置的固定的另一端绕动。
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公开(公告)号：CN115053070A
公开(公告)日：2022-09-13
申请号：CN202180014397.8
申请日：2021-02-10
申请人： 爱德华兹有限公司
发明人： A·E·K·霍尔布鲁克 , D·贝德威尔
摘要： 论述一种多级真空泵，其包括限定多个泵送室的定子。所述定子包括用于提供从所述多个泵送室中的一者的出口端口到后续泵送室的入口端口的流体通路的多个传送通道。所述传送通道中的一些包括在所述定子的相对侧上的两个侧部通道区段。所述传送通道中的一者包括在所述定子的一侧上的单个侧部通道区段。所述真空泵进一步包括布置在与所述定子的所述一侧相对的所述定子的另一侧上的气镇入口通道。
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公开(公告)号：CN114981574A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202180011809.2
申请日：2021-01-25
申请人： 爱德华兹有限公司
发明人： A·E·K·霍尔布鲁克
摘要： 一种用于在泵的定子部件之间进行密封的密封件组，所述定子部件包括限定至少一个泵送腔室的两个半壳和将安装在所述两个半壳的两端处的两个顶板。所述密封件组包括：用于在所述顶板中的至少一者与所述两个半壳之间进行密封的至少一个环形密封件；用于在所述至少一个泵送腔室的两侧上的所述两个半壳定子的纵向接触面之间进行密封的两个纵向密封件，所述纵向密封件被配置成当安装在所述泵中时具有紧靠所述至少一个环形密封件的端部部分。所述密封件组内的所述密封件中的每一者由具有以下性质中的至少一者的材料制成：在肖氏A型硬度标度上73–83、优选地75‑81之间的硬度；以及每毫米长度2.4至4.2 N/mm之间的刚度，其中所述刚度是通过在室温下轴向压缩所述材料的O形环来测量的，所述O形环具有3.4mm的横截面直径和至少40mm的内径。
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