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公开(公告)号:CN105682774B
公开(公告)日:2017-10-24
申请号:CN201480060701.2
申请日:2014-09-30
申请人: 爱德华兹有限公司
CPC分类号: B03C3/01 , B01D53/14 , B01D53/1456 , B01D2252/103 , B01D2257/2045 , B01D2257/2047 , B01D2257/553 , B01D2258/0216 , B03C3/16 , B03C3/41 , B03C3/53 , B03C2201/10
摘要: 公开了一种气体处理设备。气体处理设备包含:可操作来接收源自制造过程工具的流出气流,以使流出气流在其内被洗涤从而提供洗涤后气流的气体洗涤腔室;和可操作来接收洗涤后气流以使洗涤后气流在其内被处理从而提供处理后气流的静电沉降腔室,气体洗涤腔室和静电沉降腔室中的一个限定第一腔室,气体洗涤腔室和静电沉降腔室中的另一个限定第二腔室,第一腔室被构造成围绕第二腔室。这样,第一腔室和第二腔室能享有同样的体积,这使更加紧凑很多的设备能够被提供,与常规设备相比,对于任何给定流速或效率需求减小了设备的尺寸。而且,通过用第一腔室围绕第二腔室,所需组装不那么复杂,这使用到的零件能够更少。
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公开(公告)号:CN105682774A
公开(公告)日:2016-06-15
申请号:CN201480060701.2
申请日:2014-09-30
申请人: 爱德华兹有限公司
CPC分类号: B03C3/01 , B01D53/14 , B01D53/1456 , B01D2252/103 , B01D2257/2045 , B01D2257/2047 , B01D2257/553 , B01D2258/0216 , B03C3/16 , B03C3/41 , B03C3/53 , B03C2201/10
摘要: 公开了一种气体处理设备。气体处理设备包含:可操作来接收源自制造过程工具的流出气流,以使流出气流在其内被洗涤从而提供洗涤后气流的气体洗涤腔室;和可操作来接收洗涤后气流以使洗涤后气流在其内被处理从而提供处理后气流的静电沉降腔室,气体洗涤腔室和静电沉降腔室中的一个限定第一腔室,气体洗涤腔室和静电沉降腔室中的另一个限定第二腔室,第一腔室被构造成围绕第二腔室。这样,第一腔室和第二腔室能享有同样的体积,这使更加紧凑很多的设备能够被提供,与常规设备相比,对于任何给定流速或效率需求减小了设备的尺寸。而且,通过用第一腔室围绕第二腔室,所需组装不那么复杂,这使用到的零件能够更少。
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