-
公开(公告)号:CN112189093B
公开(公告)日:2023-03-24
申请号:CN201980036445.6
申请日:2019-05-29
申请人: 爱德华兹有限公司
摘要: 一种用于真空泵的前级管道,其具有:入口,其可连接到例如待抽空的容器;以及出口,其连接到所述真空泵的入口以抽空所述容器。因此,所述前级管道还包括具有第一端和第二端的排放管线,其中所述第一端包括开口,并且所述第二端包括固体材料捕集器。第二端布置在前级管道的外部。第一端在前级管道内布置在入口和出口之间,并且开口朝向前级管道的入口敞开,使得进入的固体材料由开口收集,通过排放管线排放,并且在固体材料捕集器中被捕捉。
-
公开(公告)号:CN112189093A
公开(公告)日:2021-01-05
申请号:CN201980036445.6
申请日:2019-05-29
申请人: 爱德华兹有限公司
摘要: 一种用于真空泵的前级管道,其具有:入口,其可连接到例如待抽空的容器;以及出口,其连接到所述真空泵的入口以抽空所述容器。因此,所述前级管道还包括具有第一端和第二端的排放管线,其中所述第一端包括开口,并且所述第二端包括固体材料捕集器。第二端布置在前级管道的外部。第一端在前级管道内布置在入口和出口之间,并且开口朝向前级管道的入口敞开,使得进入的固体材料由开口收集,通过排放管线排放,并且在固体材料捕集器中被捕捉。
-