公开(公告)号：CN101801603A

公开(公告)日：2010-08-11

申请号：CN200880106339.2

申请日：2008-07-09

申请人： 特诺恩股份公司

发明人： G·G·M·巴韦斯特雷利 ,  G·博塞利 ,  A·托格诺尼 ,  C·特雷维桑 ,  W·希尔 ,  P·舒马赫

IPC分类号： B24B5/37 ,  G05B19/416

CPC分类号： B24B5/37 ,  B21B28/02 ,  B21B28/04 ,  B21B38/00 ,  G05B19/41875 ,  G05B2219/32217 ,  Y02P80/40 ,  Y02P90/22

摘要： 本发明涉及一种用于缺陷分类和执行层压缸研磨的方法(100)，包括以下阶段，所述阶段包括：a)在示意缸的多个表面测量的映射中识别缺陷区域；b)对于所识别的每一个缺陷区域计算多个典型参数；c)基于计算出的这些参数识别与所识别的所述缺陷区域相关联的缺陷的类型；d)对于识别出的每一种缺陷的类型确定(120)特定缺陷的可接受性阈值；e)基于在与所述缺陷区域的缺陷的类型相关联的所述可接受性阈值和与所述缺陷区域相关联的缸的所述多个表面测量的测量之间的比较，限定(130)用于每一个缺陷区域的纠正动作；f)如果在阶段c)中限定的纠正动作是移除缺陷的研磨操作，则基于所述缸的所述表面测量确定(140)研磨参数。

公开(公告)号：CN101801603B

公开(公告)日：2012-04-04

申请号：CN200880106339.2

申请日：2008-07-09

申请人： 特诺恩股份公司

发明人： G·G·M·巴韦斯特雷利 ,  G·博塞利 ,  A·托格诺尼 ,  C·特雷维桑 ,  W·希尔 ,  P·舒马赫

IPC分类号： B24B5/37 ,  G05B19/416

CPC分类号： B24B5/37 ,  B21B28/02 ,  B21B28/04 ,  B21B38/00 ,  G05B19/41875 ,  G05B2219/32217 ,  Y02P80/40 ,  Y02P90/22

摘要： 本发明涉及一种用于缺陷分类和执行层压缸研磨的方法(100)，包括以下阶段，所述阶段包括：a)在示意缸的多个表面测量的映射中识别缺陷区域；b)对于所识别的每一个缺陷区域计算多个典型参数；c)基于计算出的这些参数识别与所识别的所述缺陷区域相关联的缺陷的类型；d)对于识别出的每一种缺陷的类型确定(120)特定缺陷的可接受性阈值；e)基于在与所述缺陷区域的缺陷的类型相关联的所述可接受性阈值和与所述缺陷区域相关联的缸的所述多个表面测量的测量之间的比较，限定(130)用于每一个缺陷区域的纠正动作；f)如果在阶段e)中限定的纠正动作是移除缺陷的研磨操作，则基于所述缸的所述表面测量确定(140)研磨参数。