公开(公告)号：CN101273461B

公开(公告)日：2010-07-14

申请号：CN200680035397.1

申请日：2006-09-25

Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所 ,  株式会社船井电机新应用技术研究所

Inventor： 内藤泰久 ,  堀川昌代 ,  阿部秀和 ,  清水哲夫 ,  水谷亘 ,  古田成生 ,  小野雅敏 ,  高桥刚

IPC: H01L29/66 ,  H01L29/06 ,  B82B1/00 ,  H01L29/41

CPC classification number: H01L45/1226 ,  H01L45/04 ,  H01L45/12

Abstract: 本发明的开关元件(100)包括：绝缘性衬底(10)，设置在上述绝缘性衬底(10)上的第一电极(20)，设置在上述绝缘性衬底(10)上的第二电极(30)，以及设置在上述第一电极(20)和第二电极(30)之间，在上述第一电极(20)和上述第二电极(30)之间的距离(G)为0nm＜G≤50nm的电极间间隙(40)。

公开(公告)号：CN101273461A

公开(公告)日：2008-09-24

申请号：CN200680035397.1

申请日：2006-09-25

Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所 ,  株式会社船井电机新应用技术研究所

Inventor： 内藤泰久 ,  堀川昌代 ,  阿部秀和 ,  清水哲夫 ,  水谷亘 ,  古田成生 ,  水野雅敏 ,  高桥刚

IPC: H01L29/66 ,  H01L29/06 ,  B82B1/00 ,  H01L29/41

CPC classification number: H01L45/1226 ,  H01L45/04 ,  H01L45/12

Abstract: 本发明的开关元件(100)包括：绝缘性衬底(10)，设置在上述绝缘性衬底(10)上的第一电极(20)，设置在上述绝缘性衬底(10)上的第二电极(30)，以及设置在上述第一电极(20)和第二电极(30)之间，在上述第一电极(20)和上述第二电极(30)之间的距离(G)为0nm＜G≤50nm的电极间间隙(40)。