公开(公告)号：CN116867992A

公开(公告)日：2023-10-10

申请号：CN202180093594.3

申请日：2021-10-26

申请人： 琳科技股份有限公司

发明人： 小野弘文 ,  山本健太

IPC分类号： F16K31/02

摘要： 本发明提供一种能够不受热影响地准确且迅速地传递压电元件的长度变化的常闭型流量控制阀，流量控制阀(A)具备基块(1)和阀开闭机构部(10)。基块(1)具备阀室(4)，所述阀室(4)设置有供液体原料L流通的阀座(3)和与该阀座(3)接触或分离而对该阀座(3)进行开闭的隔膜(5)。所述阀开闭机构部(10)具备滑动轴承部(20)、支柱部(30)、压电致动器部(40)、阀动作部(50)。滑动轴承部(20)具备设置于基块1的轴承(24)。支柱部(30)具备支柱(31)，所述支柱(31)滑动自如地插通于轴承(24)，并沿隔膜方向上下移动。压电致动器部(40)装备有压电元件(45)，所述压电元件(45)将支柱部(30)向从隔膜(5)离开的方向推起。通过阀动作部(50)和支柱部(30)的上下移动而对所述隔膜(5)进行开闭驱动。支柱(31)由低热膨胀构件构成。

公开(公告)号：CN112585298A

公开(公告)日：2021-03-30

申请号：CN201980035271.1

申请日：2019-04-22

申请人： 琳科技股份有限公司

发明人： 小野弘文 ,  八木茂雄 ,  山本健太

IPC分类号： C23C16/448 ,  B01J7/02 ,  H01L21/31

摘要： 提供在不使用喷雾器的方法中抑制突沸且气化空间的压力变动非常少的气化器。气化器(1)由容器主体(10)、设置于气化器(1)内并被加热的多孔质构件(30)、向多孔质构件(30)供给液体原料(L)的导入管(40)以及将气化的原料气体(G)排出到外部的气体排出路径(7)构成。导入管(40)的出口(41)与多孔质构件(30)接触或接近地配置。出口(41)与多孔质构件(30)接近地配置的情况下的从所述出口(41)到多孔质构件(30)的分离距离(H)在不超过从所述出口(41)到由于表面张力而从所述出口(41)成为液滴并垂下的液体原料(L)的下端的大小的范围内。

公开(公告)号：CN116867992B

公开(公告)日：2024-02-06

申请号：CN202180093594.3

申请日：2021-10-26

申请人： 琳科技股份有限公司

发明人： 小野弘文 ,  山本健太

IPC分类号： F16K31/02

摘要： 本发明提供一种能够不受热影响地准确且迅速地传递压电元件的长度变化的常闭型流量控制阀，流量控制阀(A)具备基块(1)和阀开闭机构部(10)。基块(1)具备阀室(4)，所述阀室(4)设置有供液体原料L流通的阀座(3)和与该阀座(3)接触或分离而对该阀座(3)进行开闭的隔膜(5)。所述阀开闭机构部(10)具备滑动轴承部(20)、支柱部(30)、压电致动器部(40)、阀动作部(50)。滑动轴承部(20)具备设置于基块1的轴承(24)。支柱部(30)具备支柱(31)，所述支柱(31)滑动自如地插通于轴承(24)，并沿隔膜方向上下移动。压电致动器部(40)装备有压电元件(45)，所述压电元件(45)将支柱部(30)向从隔膜(5)离开的方向推起。通过阀动作部(50)和支柱部(30)的上下移动而对所述隔膜(5)进行开闭驱动。支柱(31)由低热膨胀构件构成。

公开(公告)号：CN112585298B

公开(公告)日：2021-11-23

申请号：CN201980035271.1

申请日：2019-04-22

申请人： 琳科技股份有限公司

发明人： 小野弘文 ,  八木茂雄 ,  山本健太

IPC分类号： C23C16/448 ,  B01J7/02 ,  H01L21/31

摘要： 提供在不使用喷雾器的方法中抑制突沸且气化空间的压力变动非常少的气化器。气化器(1)由容器主体(10)、设置于气化器(1)内并被加热的多孔质构件(30)、向多孔质构件(30)供给液体原料(L)的导入管(40)以及将气化的原料气体(G)排出到外部的气体排出路径(7)构成。导入管(40)的出口(41)与多孔质构件(30)接触或接近地配置。出口(41)与多孔质构件(30)接近地配置的情况下的从所述出口(41)到多孔质构件(30)的分离距离(H)在不超过从所述出口(41)到由于表面张力而从所述出口(41)成为液滴并垂下的液体原料(L)的下端的大小的范围内。