公开(公告)号：CN102417155B

公开(公告)日：2014-03-26

申请号：CN201110235832.8

申请日：2011-08-17

申请人： 瑞声声学科技(深圳)有限公司 ,  瑞声科技(新加坡)有限公司 ,  瑞声声学科技(常州)有限公司

发明人： 张睿 ,  葛舟 ,  孟珍奎 ,  谢金 ,  杨斌 ,  张庆鑫 ,  刘友合 ,  徐景辉

IPC分类号： B81C1/00 ,  G01P15/18

摘要： 本发明提供了一种三轴加速度计的制作方法，该三轴加速度计利用SOI晶片做衬底，在一块晶片上完成三轴加速度计的XY轴以及Z轴的结构层，降低了生产成本，并且简化了制作过程。

公开(公告)号：CN102417155A

公开(公告)日：2012-04-18

申请号：CN201110235832.8

申请日：2011-08-17

申请人： 瑞声声学科技(深圳)有限公司 ,  瑞声科技(新加坡)有限公司 ,  瑞声声学科技(常州)有限公司

发明人： 张睿 ,  葛舟 ,  孟珍奎 ,  谢金 ,  杨斌 ,  张庆鑫 ,  刘友合 ,  徐景辉

IPC分类号： B81C1/00 ,  G01P15/18

摘要： 本发明提供了一种三轴加速度计的制作方法，该三轴加速度计利用SOI晶片做衬底，在一块晶片上完成三轴加速度计的XY轴以及Z轴的结构层，降低了生产成本，并且简化了制作过程。