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公开(公告)号：CN106999888B
公开(公告)日：2019-09-06
申请号：CN201580049011.1
申请日：2015-11-03
Applicant: 瓦克化学股份公司
Inventor： D·韦克塞尔 , G·福斯特波音特纳尔 , H·赫特莱因
IPC: B01J8/18 , C01B33/027
Abstract: 本发明的主题是制备多晶硅颗粒的流化床反应器以及组装这种流化床反应器的方法。所述方法包括按照以下所述顺序的多个步骤：构建底板(4)并连接至用于流化气体和反应气体的气体供应管线和产物排出管线(20)；使底板(4)配置至少一个流化喷嘴(6)和至少一个反应气体喷嘴(5)；插入底部反应器管密封件(7)；在底部反应器管密封件(7)上构建具有加热器(10)、电极(11)和绝热段(12，13)的反应器管(8)；将反应器段(1)放置在反应器管(8)上；构建具有顶部反应器管密封件(15)的顶部反应器管夹具(14)；组装反应器盖(16)；组装晶种进料器(17)；组装废气管道(18)。
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公开(公告)号：CN105658577B
公开(公告)日：2017-12-05
申请号：CN201480024871.5
申请日：2014-04-15
Applicant: 瓦克化学股份公司
CPC classification number: C01B33/03 , B01J8/1809 , B01J8/1827 , B01J8/1872 , B01J2208/00017 , B01J2208/00548 , B01J2208/00628 , B01J2208/00663 , B01J2208/00725 , B01J2208/00752 , B01J2208/00761 , B01J2208/00902 , B01J2208/065 , C01B33/027
Abstract: 本发明涉及在流化床反应器中生产粒状多晶硅的方法，其包括在通过加热装置加热到850至1100℃的温度的流化床中借助气流使硅粒流体化，借助至少一个喷嘴添加含硅的反应气体及在硅粒上沉积硅，其中在围绕至少一个喷嘴的喷嘴开口的轴对称区域的至少56％中，反应气体浓度大于反应气体的最大浓度(10至50摩尔％)的75％，流化床温度大于在轴对称区域外部的流化床温度(850至1100℃)的95％，及固体浓度大于在流化床边缘处的固体浓度(55至90体积％)的85％。
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公开(公告)号：CN107207266A
公开(公告)日：2017-09-26
申请号：CN201580058264.5
申请日：2015-10-21
Applicant: 瓦克化学股份公司
Inventor： G·福斯特波音特纳尔 , D·韦克塞尔
IPC: C01B33/027 , C01B33/03
Abstract: 本发明涉及一种制备多晶硅颗粒的流化床反应器，其包括反应器盖(10)、反应器管(3)和反应器底(9)，所述反应器还包括加热装置、用于供应流化气体(2)的至少一个底部气体喷嘴，以及用于供应反应气体(1)的至少一个第二气体喷嘴，用于进料硅晶种颗粒的晶种进料器(4)，用于多晶硅颗粒的产品退出管线(5)，以及尾气除去器(6)，其中通过紧靠所述反应器底(9)的密封件/填料(8)密封底部气体喷嘴、至少一个第二气体喷嘴以及用于多晶硅颗粒的产品退出管线(5)，并通过密封件(7)密封紧靠反应器盖(10)和反应器底(9)的反应器管(3)，其中所述密封件/填料(7，8)由石墨构成且含有小于500ppmw的磷。
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公开(公告)号：CN105658577A
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201480024871.5
申请日：2014-04-15
Applicant: 瓦克化学股份公司
CPC classification number: C01B33/03 , B01J8/1809 , B01J8/1827 , B01J8/1872 , B01J2208/00017 , B01J2208/00548 , B01J2208/00628 , B01J2208/00663 , B01J2208/00725 , B01J2208/00752 , B01J2208/00761 , B01J2208/00902 , B01J2208/065 , C01B33/027
Abstract: 本发明涉及在流化床反应器中生产粒状多晶硅的方法，其包括在通过加热装置加热到850至1100℃的温度的流化床中借助气流使硅粒流体化，借助至少一个喷嘴添加含硅的反应气体及在硅粒上沉积硅，其中在围绕至少一个喷嘴的喷嘴开口的轴对称区域的至少56％中，反应气体浓度大于反应气体的最大浓度(10至50摩尔％)的75％，流化床温度大于在轴对称区域外部的流化床温度(850至1100℃)的95％，及固体浓度大于在流化床边缘处的固体浓度(55至90体积％)的85％。
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公开(公告)号：CN105229198B
公开(公告)日：2017-09-19
申请号：CN201480028137.6
申请日：2014-05-06
Applicant: 瓦克化学股份公司
Inventor： D·韦克塞尔
IPC: C23C16/442 , C23C16/24 , C23C16/44 , C01B33/035 , B24C1/00
CPC classification number: C23C16/4407 , B01D45/16 , B01D46/0019 , B01D50/002 , B24C1/086 , B24C11/00 , C01B33/027 , C01B33/035 , C23C16/24 , C23C16/4412 , C23C16/442
Abstract: 本发明涉及一种去除制造多晶硅的反应器的部件上的含硅层的方法，其特征在于通过含硅颗粒机械地去除所述层，并且还涉及一种用于制造多晶硅的反应器，其包括用于含硅颗粒的供料装置，所述供料装置适用于将反应器废气和含硅颗粒供给至废气热交换器。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105229198A
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201480028137.6
申请日：2014-05-06
Applicant: 瓦克化学股份公司
Inventor： D·韦克塞尔
IPC: C23C16/442 , C23C16/24 , C23C16/44 , C01B33/035 , B24C1/00
CPC classification number: C23C16/4407 , B01D45/16 , B01D46/0019 , B01D50/002 , B24C1/086 , B24C11/00 , C01B33/027 , C01B33/035 , C23C16/24 , C23C16/4412 , C23C16/442
Abstract: 本发明涉及一种去除制造多晶硅的反应器的部件上的含硅层的方法，其特征在于通过含硅颗粒机械地去除所述层，并且还涉及一种用于制造多晶硅的反应器，其包括用于含硅颗粒的供料装置，所述供料装置适用于将反应器废气和含硅颗粒供给至废气热交换器。
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公开(公告)号：CN106132530B
公开(公告)日：2019-12-20
申请号：CN201580013982.0
申请日：2015-03-12
Applicant: 瓦克化学股份公司
Inventor： D·韦克塞尔
Abstract: 本发明公开了一种通过在硅种颗粒上沉积多晶硅来制备粒状多晶硅的反应器，其包括反应容器，包括粒状多晶硅及位于反应容器内的反应器底部的流化床的内反应管，用于加热内反应管中的流化床的加热装置，至少一个用于导入流化气体的底部气体喷嘴，以及至少一个用于导入反应气体的反应气体喷嘴，用于导入硅种颗粒的供料装置，且还包括用于粒状多晶硅的排除管线以及用于将反应器废气从反应容器中排出的装置，其中在圆柱形部件的圆柱形表面设有开口，圆柱形表面上至少5％且不超过95％为开口，位于内反应管及加热装置之间。
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公开(公告)号：CN107207266B
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201580058264.5
申请日：2015-10-21
Applicant: 瓦克化学股份公司
Inventor： G·福斯特波音特纳尔 , D·韦克塞尔
IPC: C01B33/027 , C01B33/03
Abstract: 本发明涉及一种制备多晶硅颗粒的流化床反应器，其包括反应器盖(10)、反应器管(3)和反应器底(9)，所述反应器还包括加热装置、用于供应流化气体(2)的至少一个底部气体喷嘴，以及用于供应反应气体(1)的至少一个第二气体喷嘴，用于进料硅晶种颗粒的晶种进料器(4)，用于多晶硅颗粒的产品退出管线(5)，以及尾气除去器(6)，其中通过紧靠所述反应器底(9)的密封件/填料(8)密封底部气体喷嘴、至少一个第二气体喷嘴以及用于多晶硅颗粒的产品退出管线(5)，并通过密封件(7)密封紧靠反应器盖(10)和反应器底(9)的反应器管(3)，其中所述密封件/填料(7，8)由石墨构成且含有小于500ppmw的磷。
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公开(公告)号：CN106132530A
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：CN201580013982.0
申请日：2015-03-12
Applicant: 瓦克化学股份公司
Inventor： D·韦克塞尔
Abstract: 本发明公开了一种通过在硅种颗粒上沉积多晶硅来制备粒状多晶硅的反应器，其包括反应容器，包括粒状多晶硅及位于反应容器内的反应器底部的流化床的内反应管，用于加热内反应管中的流化床的加热装置，至少一个用于导入流化气体的底部气体喷嘴，以及至少一个用于导入反应气体的反应气体喷嘴，用于导入硅种颗粒的供料装置，且还包括用于粒状多晶硅的排除管线以及用于将反应器废气从反应容器中排出的装置，其中在圆柱形部件的圆柱形表面设有开口，圆柱形表面上至少5％且不超过95％为开口，位于内反应管及加热装置之间。
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公开(公告)号：CN106999888A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201580049011.1
申请日：2015-11-03
Applicant: 瓦克化学股份公司
Inventor： D·韦克塞尔 , G·福斯特波音特纳尔 , H·赫特莱因
IPC: B01J8/18 , C01B33/027
Abstract: 本发明的主题是制备多晶硅颗粒的流化床反应器以及组装这种流化床反应器的方法。所述方法包括按照以下所述顺序的多个步骤：构建底板(4)并连接至用于流化气体和反应气体的气体供应管线和产物排出管线(20)；使底板(4)配置至少一个流化喷嘴(6)和至少一个反应气体喷嘴(5)；插入底部反应器管密封件(7)；在底部反应器管密封件(7)上构建具有加热器(10)、电极(11)和绝热段(12，13)的反应器管(8)；将反应器段(1)放置在反应器管(8)上；构建具有顶部反应器管密封件(15)的顶部反应器管夹具(14)；组装反应器盖(16)；组装晶种进料器(17)；组装废气管道(18)。
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