一种基于氧化钒的同质异构双波段传感器及其像元阵列

    公开(公告)号:CN117309154A

    公开(公告)日:2023-12-29

    申请号:CN202311266203.0

    申请日:2023-09-27

    IPC分类号: G01J5/10 G01J1/42

    摘要: 本发明公开了一种基于氧化钒的同质异构双波段传感器及其像元阵列,本发明提出的基于氧化钒的同质异构双波段传感器及其像元阵列,可实现可见光和红外双波段的同时探测,目标信息包含红外热辐射信息和可见光细节信息,实现信息互补,具有较高对比度,且细节信息风险,成像质量高;且本发明提出的同质异构双波段传感器及其像元阵列所涉及的材料生长及器件制作工艺简单,有利于器件的焦平面化,降低了制作成本。同时本发明的像元阵列中红外感光单元和可见光感光单元具有高度的周期性和对称性,提高了双波段探测精度,并通过探测像元合理的排布方式能够降低串扰,盲元列设置能够消除器件暗电流,同时降低非均匀性,提升成像质量。