公开(公告)号：CN101036045B

公开(公告)日：2010-09-01

申请号：CN200580034172.X

申请日：2005-10-05

Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司

Inventor： 斯皮克·瓦德曼

IPC: G01N21/47

CPC classification number: G01N21/8806 ,  G01N21/4738 ,  G01N2021/4735 ,  G01N2201/0635

Abstract: 一方面，根据确定的强度变化，通过改变分辨率减小了存储从比如Parousiameter的散射计(100)获得的图像强度数据所需的数据量，强度数据以此分辨率在网格的不同区域中使用。另一方面，散射计设置有非球面镜(170，900，1000)，用于对测试样品(180)成像，以校正由于反射镜相对于测试样品的偏心放置所引入的失真。另一方面，光学表面检验装置在测试表面(1420)和照亮的图形网格(1410)间使用了辅助透镜(1440)，以将图形网格(1610)投影在测试表面上。相机(1450)聚焦在作为实像的测试表面的网格上。

公开(公告)号：CN101036045A

公开(公告)日：2007-09-12

申请号：CN200580034172.X

申请日：2005-10-05

Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司

Inventor： 斯皮克·瓦德曼

IPC: G01N21/47

CPC classification number: G01N21/8806 ,  G01N21/4738 ,  G01N2021/4735 ,  G01N2201/0635

Abstract: 一方面，根据确定的强度变化，通过改变分辨率减小了存储从比如Parousiameter的散射计(100)获得的图像强度数据所需的数据量，强度数据以此分辨率在网格的不同区域中使用。另一方面，散射计设置有非球面镜(170，900，1000)，用于对测试样品(180)成像，以校正由于反射镜相对于测试样品的偏心放置所引入的失真。另一方面，光学表面检验装置在测试表面(1420)和照亮的图形网格(1410)间使用了辅助透镜(1440)，以将图形网格(1610)投影在测试表面上。相机(1450)聚焦在作为实像的测试表面的网格上。