公开(公告)号：CN101779155A

公开(公告)日：2010-07-14

申请号：CN200880103330.6

申请日：2008-08-12

Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司

Inventor： D·沃森 ,  L·巴克 ,  B·赫尔斯肯 ,  S·斯塔林加

IPC: G02B21/00 ,  G02B21/14 ,  G02B21/08

CPC classification number: G02B21/002 ,  G02B21/004 ,  G02B21/008 ,  G02B21/086 ,  G02B21/14

Abstract: 一种对样本成像的方法包括步骤：提供S1参考光斑阵列104；利用所述参考光斑阵列104照射样本106并且获取S2至少一幅样本图像IMSi，所述样本图像包括从与样本106相互作用的参考光斑阵列得到的样本相关光斑阵列107；确定S3多个样本相关光斑中的每一个的光斑表征参数；以及通过在对应的样本相关光斑位置处绘制所述多个样本相关光斑中的每一个的光斑表征参数来构造S4样本的图像IMS。