公开(公告)号：CN102060258A

公开(公告)日：2011-05-18

申请号：CN201010568507.9

申请日：2006-02-23

申请人： 皮克斯特罗尼克斯公司

发明人： N·W·哈古德 ,  J·L·斯泰恩 ,  T·T·布罗斯尼汉 ,  J·甘德希 ,  J·J·菲乔 ,  R·S·佩恩 ,  R·巴顿

IPC分类号： B81B3/00 ,  B81B7/04 ,  G02B26/08

CPC分类号： G09G3/3433 ,  G02B26/02 ,  G09G3/3473 ,  G09G2300/0842 ,  G09G2310/0262

摘要： 披露了一种微电子机械装置。该微电子机械装置包括：第一部件，其限定平面；梁，其包括悬挂在所述第一部件上方的至少一个非晶硅层，其中所述梁在垂直于所限定的平面方向上的尺寸是所述梁在所限定的平面内的至少一个尺寸的至少1.4倍。

公开(公告)号：CN101999091A

公开(公告)日：2011-03-30

申请号：CN200980112764.7

申请日：2009-02-12

申请人： 皮克斯特罗尼克斯公司

发明人： J·L·斯泰恩 ,  T·J·布罗斯尼汉 ,  J·H·吴 ,  M·B·安迪生 ,  R·S·佩恩 ,  J·J·菲乔 ,  N·W·哈古德四世

IPC分类号： G02B26/08

CPC分类号： G02B26/02 ,  G09G3/3413 ,  G09G3/3433 ,  G09G2300/08

摘要： 本发明涉及一种空间光调制器，该空间光调制器包括具有一个表面的一个基片以及被连接到该基片上的一个调制组件，该调制组件包括一个调制元件和一个顺性梁。该调制组件被构形为用来限制不然就会由该顺性梁内的固有应力引发的该顺性梁朝向一个对置表面的弯曲。本发明还涉及一种制造空间光调制器的方法，该方法包括以下步骤：形成并释放一个调制组件，该调制组件具有一个调制元件以及一个顺性梁，该顺性梁在一个释放前的位置中形成以便具有一种想要达到的固有应力状态。作为该顺性梁中这种应力状态的一个结果，当释放该顺性梁时，该顺性梁弯曲进入一个休止位置，该休止位置不同于该释放前的位置，其中该休止位置是部分基于该想要达到的固有应力状态。

公开(公告)号：CN101128766B

公开(公告)日：2011-01-12

申请号：CN200680005823.7

申请日：2006-02-23

申请人： 皮克斯特罗尼克斯公司

发明人： N·W·哈古德 ,  J·L·斯泰恩 ,  T·T·布罗斯尼汉 ,  J·甘德希 ,  J·J·菲乔 ,  R·S·佩恩 ,  R·巴顿

IPC分类号： G02B26/02 ,  G02B6/132 ,  H04N5/74

摘要： 披露了一种包括基于快门的光调制器的显示装置以及制造这种装置的方法。该方法与所属技术领域内公知的薄膜制造工艺兼容并且得出具有低功耗的显示器。

公开(公告)号：CN101128766A

公开(公告)日：2008-02-20

申请号：CN200680005823.7

申请日：2006-02-23

申请人： 皮克斯特罗尼克斯公司

发明人： N·W·哈古德 ,  J·L·斯泰恩 ,  T·T·布罗斯尼汉 ,  J·甘德希 ,  J·J·菲乔 ,  R·S·佩恩 ,  R·巴顿

IPC分类号： G02B26/02 ,  G02B6/132 ,  H04N5/74

摘要： 披露了一种包括基于快门的光调制器的显示装置以及制造这种装置的方法。该方法与所属技术领域内公知的薄膜制造工艺兼容并且得出具有低功耗的显示器。