公开(公告)号：CN117187784B

公开(公告)日：2024-05-24

申请号：CN202311474527.3

申请日：2023-11-08

申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 ,  盛吉盛精密技术(宁波)有限公司

发明人： 韩颖超 ,  马志杰 ,  范荣 ,  李士昌

IPC分类号： C23C16/455 ,  C30B28/12 ,  C30B29/06

摘要： 本发明提供了一种机械式导气扁管及其预处理方法，机械式导气扁管包括管体和管头，管体由第一半管件和第二半管件拼接而成，管头、第一半管件和第二半管件均为硅材质的一体成型部件，第一半管件设有第一导气槽，第二半管件设有第二导气槽，第一导气槽和第二导气槽组成一端开口的导气腔体，第一半管件上设有多个导气孔，管头包括装配部和进气管，进气管具有横截面为圆形的进气通道，导气腔体的横截面面积大于进气通道的横截面面积，过渡通道连通进气通道和导气腔体。本发明的各部件通过机械方式连接，避免了引入金属和颗粒污染的风险，减少管体残余应力，管体具有增大的导气腔体，减少薄膜沉积对管径的影响，提高工艺稳定性。

公开(公告)号：CN117187784A

公开(公告)日：2023-12-08

申请号：CN202311474527.3

申请日：2023-11-08

申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 ,  盛吉盛精密技术(宁波)有限公司

发明人： 韩颖超 ,  马志杰 ,  范荣 ,  李士昌

IPC分类号： C23C16/455 ,  C30B28/12 ,  C30B29/06

摘要： 本发明提供了一种机械式导气扁管及其预处理方法，机械式导气扁管包括管体和管头，管体由第一半管件和第二半管件拼接而成，管头、第一半管件和第二半管件均为硅材质的一体成型部件，第一半管件设有第一导气槽，第二半管件设有第二导气槽，第一导气槽和第二导气槽组成一端开口的导气腔体，第一半管件上设有多个导气孔，管头包括装配部和进气管，进气管具有横截面为圆形的进气通道，导气腔体的横截面面积大于进气通道的横截面面积，过渡通道连通进气通道和导气腔体。本发明的各部件通过机械方式连接，避免了引入金属和颗粒污染的风险，减少管体残余应力，管体具有增大的导气腔体，减少薄膜沉积对管径的影响，提高工艺稳定性。