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公开(公告)号:CN118562075A
公开(公告)日:2024-08-30
申请号:CN202410813166.9
申请日:2024-06-21
Applicant: 福州大学
IPC: C08F293/00
Abstract: 本申请公开了一种具有苯环刚性结构的多臂嵌段共聚物及其制备方法,包括以下步骤:(1)制备具有苯环刚性结构的引发剂;(2)将引发剂与单体、催化剂、配体和甲苯加入无水无氧的Schlenk瓶中,经过三次液氮冷冻‑抽真空‑解冻操作,将体系解冻后置于65~80℃油浴锅中加热8~24 h;(3)加入四氢呋喃稀释并接触空气以停止反应,用中性氧化铝过滤除去铜的化合物,对溶液进行浓缩后将溶液滴加入正己烷中析出产物,过滤重沉淀三次后在30℃真空干燥箱干燥至恒重;(4)将上述步骤中得到的具有苯环刚性结构的多臂嵌段共聚物用四氢呋喃溶解,旋涂与硅片上,通过140~170℃退火12~24 h,能够形成垂直取向且有一定有序度的结构,证明了导向自组装在光刻技术中图案化的可行性。