公开(公告)号：CN106575079A

公开(公告)日：2017-04-19

申请号：CN201580041704.6

申请日：2015-07-31

申请人： 科思创德国股份有限公司

发明人： T.法克 ,  F-K.布鲁德 ,  D.亨内尔 ,  G.瓦尔策 ,  T.罗勒

IPC分类号： G03F7/027 ,  G03F7/035

摘要： 本发明涉及包含基底层和至少逐段地与该基底层结合的光聚合物层的层结构，其中基底层具有≤60nm的平均延迟。

公开(公告)号：CN106575079B

公开(公告)日：2021-02-05

申请号：CN201580041704.6

申请日：2015-07-31

申请人： 科思创德国股份有限公司

发明人： T.法克 ,  F-K.布鲁德 ,  D.亨内尔 ,  G.瓦尔策 ,  T.罗勒

IPC分类号： G03F7/027 ,  G03F7/035

摘要： 本发明涉及包含基底层和至少逐段地与该基底层结合的光聚合物层的层结构，其中基底层具有≤60nm的平均延迟。