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公开(公告)号:CN1116453A
公开(公告)日:1996-02-07
申请号:CN94190877.1
申请日:1994-11-01
申请人: 米高技术有限公司
摘要: 一种帮助辨别一个光学表面(100)的观察装置。该装置包括一个激光二极管(101),用于产生光束(103);一个观察屏(107),用于接收由照射在表面(100)上的光束(103)产生的衍射图像。该装置还包括一个透镜系统(102),它带来将被聚焦在观察屏(107)上的衍射光束。
公开(公告)号:CN1116453A
公开(公告)日:1996-02-07
申请号:CN94190877.1
申请日:1994-11-01
申请人: 米高技术有限公司
摘要: 一种帮助辨别一个光学表面(100)的观察装置。该装置包括一个激光二极管(101),用于产生光束(103);一个观察屏(107),用于接收由照射在表面(100)上的光束(103)产生的衍射图像。该装置还包括一个透镜系统(102),它带来将被聚焦在观察屏(107)上的衍射光束。