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公开(公告)号:CN1896848A
公开(公告)日:2007-01-17
申请号:CN200610105517.2
申请日:2006-07-07
申请人: 精工爱普生株式会社
IPC分类号: G02F1/1337 , G02F1/133
CPC分类号: G02F1/133734 , C23C14/042 , C23C14/225 , C23C14/568
摘要: 本发明提供一种取向膜的制造装置,用于制造由在对置的一对基板之间夹持液晶而构成的液晶装置的取向膜,具备:由真空腔构成的成膜室;蒸镀部,其具有蒸镀源,用于在所述成膜室内通过物理蒸镀法将取向膜材料蒸镀到所述基板,形成取向膜;遮蔽板,其形成在所述蒸镀部与所述基板之间,具有用于选择性地蒸镀取向膜材料的狭缝状的开口部分,覆盖所述基板的不形成取向膜的区域;给除材料室,其由经由闸阀与所述成膜室连通的真空腔构成;遮蔽板收容室,其与所述给除材料室连通,并收容所述遮蔽板的备品;和交换装置,其设置在所述给除材料室,并对配置在所述成膜室内的遮蔽板和配置在所述遮蔽板收容室内的备品的遮蔽板进行交换。
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公开(公告)号:CN100416365C
公开(公告)日:2008-09-03
申请号:CN200610105433.9
申请日:2006-07-06
申请人: 精工爱普生株式会社
IPC分类号: G02F1/1333 , G02F1/1337
CPC分类号: G02F1/133734 , G02F1/1303 , Y10T428/10 , Y10T428/1005
摘要: 一种制造液晶装置的制造装置,该液晶装置具有:对置的一对基板;形成在所述一对基板中的至少一方基板的内面侧的取向膜;和被夹持在所述一对基板之间的液晶,该制造装置包括:成膜室;蒸镀部,其具有蒸镀源,通过物理蒸镀法在所述成膜室内对所述基板蒸镀无机材料,形成取向膜和配置在所述取向膜之下的基底膜;基底膜形成区域,其位于所述成膜室内的所述蒸镀源的大致上方,用于形成所述基底膜;和取向膜形成区域,其位于所述成膜室内的所述蒸镀源的斜上方,并具有遮挡板,用于形成所述取向膜,所述遮挡板具有用于选择性蒸镀无机材料的狭缝状开口部分。
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公开(公告)号:CN100504548C
公开(公告)日:2009-06-24
申请号:CN200610105517.2
申请日:2006-07-07
申请人: 精工爱普生株式会社
IPC分类号: G02F1/1337 , G02F1/133
CPC分类号: G02F1/133734 , C23C14/042 , C23C14/225 , C23C14/568
摘要: 本发明提供一种取向膜的制造装置,用于制造由在对置的一对基板之间夹持液晶而构成的液晶装置的取向膜,具备:由真空腔构成的成膜室;蒸镀部,其具有蒸镀源,用于在所述成膜室内通过物理蒸镀法将取向膜材料蒸镀到所述基板,形成取向膜;遮蔽板,其形成在所述蒸镀部与所述基板之间,具有用于选择性地蒸镀取向膜材料的狭缝状的开口部分,覆盖所述基板的不形成取向膜的区域;给除材料室,其由经由闸阀与所述成膜室连通的真空腔构成;遮蔽板收容室,其与所述给除材料室连通,并收容所述遮蔽板的备品;和交换装置,其设置在所述给除材料室,并对配置在所述成膜室内的遮蔽板和配置在所述遮蔽板收容室内的备品的遮蔽板进行交换。
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公开(公告)号:CN1896826A
公开(公告)日:2007-01-17
申请号:CN200610105433.9
申请日:2006-07-06
申请人: 精工爱普生株式会社
IPC分类号: G02F1/1333 , G02F1/1337
CPC分类号: G02F1/133734 , G02F1/1303 , Y10T428/10 , Y10T428/1005
摘要: 一种制造液晶装置的制造装置,该液晶装置具有:对置的一对基板;形成在所述一对基板中的至少一方基板的内面侧的取向膜;和被夹持在所述一对基板之间的液晶,该制造装置包括:成膜室;蒸镀部,其具有蒸镀源,通过物理蒸镀法在所述成膜室内对所述基板蒸镀无机材料,形成取向膜和配置在所述取向膜之下的基底膜;基底膜形成区域,其位于所述成膜室内的所述蒸镀源的大致上方,用于形成所述基底膜;和取向膜形成区域,其位于所述成膜室内的所述蒸镀源的斜上方,并具有遮挡板,用于形成所述取向膜,所述遮挡板具有用于选择性蒸镀无机材料的狭缝状开口部分。
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公开(公告)号:CN100451773C
公开(公告)日:2009-01-14
申请号:CN200610101953.2
申请日:2006-07-11
申请人: 精工爱普生株式会社
IPC分类号: G02F1/1337 , G02F1/1333
CPC分类号: G02F1/1337 , Y10T428/1005
摘要: 一种制造装置,制造在相面对的一对基板间夹持液晶而成的液晶装置的取向膜,具有:成膜室;蒸镀部,其具有蒸镀源,在上述成膜室内通过物理的蒸镀法在上述基板上蒸镀取向膜材料,形成取向膜;遮挡板,其形成在上述蒸镀部与上述基板之间,具有用来有选择地蒸镀取向膜材料的缝隙状开口部分,将上述基板中的不形成取向膜的区域覆盖起来;以及限制部件,其设置在上述蒸镀源与上述遮挡板之间,并且设置在上述蒸镀源的附近,用来对上述蒸镀源的上述取向膜材料发生升华的升华方向进行限制。
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公开(公告)号:CN1896846A
公开(公告)日:2007-01-17
申请号:CN200610101953.2
申请日:2006-07-11
申请人: 精工爱普生株式会社
IPC分类号: G02F1/1337 , G02F1/1333
CPC分类号: G02F1/1337 , Y10T428/1005
摘要: 一种制造装置,制造在相面对的一对基板间夹持液晶而成的液晶装置的取向膜,具有:成膜室;蒸镀部,其具有蒸镀源,在上述成膜室内通过物理的蒸镀法在上述基板上蒸镀取向膜材料,形成取向膜;遮挡板,其形成在上述蒸镀部与上述基板之间,具有用来有选择地蒸镀取向膜材料的缝隙状开口部分,将上述基板中的不形成取向膜的区域覆盖起来;以及限制部件,其设置在上述蒸镀源与上述遮挡板之间,并且设置在上述蒸镀源的附近,用来对上述蒸镀源的上述取向膜材料发生升华的升华方向进行限制。
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