公开(公告)号：CN107887498A

公开(公告)日：2018-04-06

申请号：CN201710877982.6

申请日：2017-09-25

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 古林智一 ,  国分刚 ,  两角浩一

IPC: H01L41/02 ,  H01L41/08 ,  H01L41/22

CPC classification number: H02N2/103 ,  A61B8/4494 ,  B06B1/0603 ,  B25J9/12 ,  B41J2/14201 ,  B41J2/14233 ,  B41J2002/14241 ,  B41J2002/14419 ,  B41J2202/11 ,  B65G23/00 ,  H01L41/047 ,  H01L41/0805 ,  H01L41/0913 ,  H01L41/29 ,  H01L41/317 ,  H01L41/332 ,  H02N2/004 ,  H01L41/22

Abstract: 提供能够降低失效概率的压电元件、压电执行器以及压电元件的制造方法。压电元件具有压电体以及配置在所述压电体的第一电极，在所述第一电极和所述压电体的排列方向观察的平面图中，所述压电体的配置有所述第一电极的一侧的面中的、位于所述第一电极的周围且从所述第一电极的边缘起10μm以内的区域具有晶面。