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1.

发明公开
微电化泵及其制造方法无效

公开(公告)号：CN1054119A

公开(公告)日：1991-08-28

申请号：CN90110264.4

申请日：1990-12-27

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 宫崎肇 , 丰田正明 , 上原太介 , 村中司 , 纸透真 , 野濑保人

IPC: F04B43/04

Abstract: 一种用于医疗和分析领域的微电化泵具有一夹在表面板和玻璃基片之间的薄膜板。该中间模板具有一吸入阀和一输出阀而玻璃基片有一入口和一出口分别连接到相应阀。在借助蚀刻技术形成于薄膜板上的两阀之间，存在一振动膜片，在该振动膜片上有一检测振动膜片任何状态的压电元件。另一微电化泵具有上薄膜板构件和下薄膜板构件。上构件具有吸入阀，下构件具有输出阀。在上和下薄膜板构件之间插入一中间玻璃基片。

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