微芯片及微粒测量装置
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110382117B

    公开(公告)日:2022-09-27

    申请号:CN201880016751.9

    申请日:2018-02-27

    申请人: 索尼公司

    IPC分类号: B01L3/02 B01L3/00 G01N15/00

    摘要: 提供了一种微芯片。微芯片包括基板,该基板包括被配置为在其中输送流体的流道。该基板包括第一基板层、层压至第一基板层以创建流道的第二基板层,及仅形成在第一基板层或者第二基板层中的一个中的排放部。排放部包括指向基板的端面、并且被配置为喷射流动通过流道的流体的开口。