分配设备、分析器和用于控制分配设备的方法

    公开(公告)号:CN103861669A

    公开(公告)日:2014-06-18

    申请号:CN201310671017.5

    申请日:2013-12-10

    申请人: 索尼公司

    IPC分类号: B01L3/00

    摘要: 本发明涉及分配设备、分析器和用于控制分配设备的方法,其中,该分配设备包括分配单元和驱动机构。分配单元被配置为支撑分配喷嘴,为所述分配喷嘴提供待分配的材料,并允许所述分配喷嘴排放所述材料。所述驱动机构被配置为在第二方向和第三方向上改变工作台和所述分配喷嘴之间的相对位置,其中当第一方向是大致垂直的方向时所述第二方向是水平方向且所述第三方向大致垂直于所述第一方向和所述第二方向。