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公开(公告)号：CN105300278B
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201510307095.6
申请日：2015-06-05
Applicant: 约翰内斯·海德汉博士有限公司
Inventor： 约尔格·德雷谢尔 , 沃尔夫冈·霍尔扎普费尔 , 拉尔夫·约尔格尔 , 托马斯·卡埃尔贝雷尔 , 马库斯·迈斯纳 , 伯恩哈德·默施 , 埃尔温·施潘纳
Abstract: 本发明涉及一种光学位置测量装置，获取能彼此相对地沿至少一个测量方向运动地布置的第一和第二整体量具的相对位置。在分离光栅处由光源发射的光束分离成至少两个子射束。子射束在经过扫描光路时经历不同偏振光学作用。不同偏振的子射束在合并光栅处重新合并后，能从合成光束中产生多个相位偏移的取决于偏移的扫描信号。在分离和重新合并间的子射束的扫描光路中未布置偏振光学构件。为在子射束上产生不同偏振光学作用，锥形入射的照明光束作用到分离光栅上，其中入射的照明光束在垂直测量方向的平面中以不同于0°的角度延伸且入射面通过分离光栅的光栅法线和照明光束入射方向张开。分离和重新合并间的子射束的扫描光路设计为关于入射面镜面对称。
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公开(公告)号：CN105300278A
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：CN201510307095.6
申请日：2015-06-05
Applicant: 约翰内斯·海德汉博士有限公司
Inventor： 约尔格·德雷谢尔 , 沃尔夫冈·霍尔扎普费尔 , 拉尔夫·约尔格尔 , 托马斯·卡埃尔贝雷尔 , 马库斯·迈斯纳 , 伯恩哈德·默施 , 埃尔温·施潘纳
CPC classification number: G01B11/14 , G01B9/02015 , G01D5/266 , G01D5/345 , G01D5/34707
Abstract: 本发明涉及一种光学位置测量装置，获取能彼此相对地沿至少一个测量方向运动地布置的第一和第二整体量具的相对位置。在分离光栅处由光源发射的光束分离成至少两个子射束。子射束在经过扫描光路时经历不同偏振光学作用。不同偏振的子射束在合并光栅处重新合并后，能从合成光束中产生多个相位偏移的取决于偏移的扫描信号。在分离和重新合并间的子射束的扫描光路中未布置偏振光学构件。为在子射束上产生不同偏振光学作用，锥形入射的照明光束作用到分离光栅上，其中入射的照明光束在垂直测量方向的平面中以不同于0°的角度延伸且入射面通过分离光栅的光栅法线和照明光束入射方向张开。分离和重新合并间的子射束的扫描光路设计为关于入射面镜面对称。
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