公开(公告)号：CN1790551B

公开(公告)日：2010-06-09

申请号：CN200510131720.2

申请日：2005-12-13

申请人： 纳米世界股份公司

发明人： O·克劳泽 ,  C·勒雷尔 ,  S·彼得森

IPC分类号： G12B21/02 ,  G01N13/10

CPC分类号： G01Q70/12

摘要： 本发明涉及用于扫描探针显微镜的带有悬臂(3)、在悬臂(3)的一端的保持元件(2)和在悬臂(3)的另一端的传感器尖端(4)的SPM传感器(1)，并且涉及用于生产这种传感器的方法。EBD结构(5)直接锚定在传感器尖端(4)的基底内。对EBD结构(5)的锚定用正性接合和非正性接合而发生在处于传感器尖端(4)内的孔(6)内，该孔(6)通过在传感器尖端(4)的基底内进行材料去除而得以创造。在通过光刻构造和随后的蚀刻过程或通过由粒子束而进行材料移除之后，方法设想了通过在传感器尖端的孔内由粒子束产生的材料沉积而创造EBD结构。

公开(公告)号：CN1790551A

公开(公告)日：2006-06-21

申请号：CN200510131720.2

申请日：2005-12-13

申请人： 纳米世界股份公司

发明人： O·克劳泽 ,  C·勒雷尔 ,  S·彼得森

IPC分类号： G12B21/02 ,  G01N13/10

CPC分类号： G01Q70/12

摘要： 本发明涉及用于扫描探针显微镜的带有悬臂(3)、在悬臂(3)的一端的保持元件(2)和在悬臂(3)的另一端的传感器尖端(4)的SPM传感器(1)，并且涉及用于生产这种传感器的方法。EBD结构(5)直接锚定在传感器尖端(4)的基底内。对EBD结构(5)的锚定用正性接合和非正性接合而发生在处于传感器尖端(4)内的孔(6)内，该孔(6)通过在传感器尖端(4)的基底内进行材料去除而得以创造。在通过光刻构造和随后的蚀刻过程或通过由粒子束而进行材料移除之后，方法设想了通过在传感器尖端的孔内由粒子束产生的材料沉积而创造EBD结构。