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公开(公告)号:CN110606797A
公开(公告)日:2019-12-24
申请号:CN201910536841.7
申请日:2019-06-20
申请人: 绿菱电子材料(天津)有限公司 , 天津绿菱气体有限公司
摘要: 本发明提出一种高转化率的一氟甲烷的制备方法。一种高转化率的一氟甲烷的制备方法,包括以下步骤:对原料气体一氯甲烷进行深度脱水处理;对原料气体氟化氢进行深度脱水处理;对含氧气体进行深度脱水处理;将一氯甲烷、氟化氢和含氧气体在反应器中催化剂条件下进行氟氯交换反应生成半成品;半成品经初步提纯分离得到未反应的一氯甲烷和未反应的氟化氢,未反应的一氯甲烷和未反应的氟化氢返回至反应器循环使用。本发明提出的高转化率的一氟甲烷的制备方法,通过在催化剂的外表面涂覆氮化硅或磷化硅的防积碳层,同时引入含氧气体对副产物甲烷及时进行燃烧反应,避免了催化剂表面大量积碳,明显改善了催化剂的活性,并大幅度提高了一氯甲烷转化率。