正型光敏树脂组合物和由其制备的固化膜

    公开(公告)号:CN111142335A

    公开(公告)日:2020-05-12

    申请号:CN201911074949.5

    申请日:2019-11-05

    IPC分类号: G03F7/004 G03F7/027

    摘要: 本发明涉及一种正型光敏树脂组合物和一种由其制备的固化膜。所述组合物包含含有双键的可光聚合化合物和特定的光聚合引发剂,其中所述含有双键的可光聚合化合物在曝光时抑制光聚合反应,但在显影后在光漂白时引起光聚合反应,从而控制所述组合物在热固化期间的流动性。因此,易于形成图案,这使得能够在显影时并且甚至在显影后的硬烘烤过程中维持优异的感光度,并且有可能提供膜强度和膜保持率均优异的固化膜。

    正型感光性树脂组合物和自其制备的固化膜

    公开(公告)号:CN105629663A

    公开(公告)日:2016-06-01

    申请号:CN201510812533.4

    申请日:2015-11-20

    IPC分类号: G03F7/039 G03F7/004

    摘要: 本发明涉及一种正型感光性树脂组合物和一种由其制备的固化膜。所述感光性树脂组合物包含(A)含有至少一个衍生自由式(I)表示的硅烷化合物的结构单元的硅氧烷聚合物,(B)环氧化合物以及(C)1,2-二叠氮醌化合物,其可维持含有硅氧烷聚合物的常规组合物的优势,例如高透明度,同时具有改善的耐化学性;因此,其可提供在后处理期间稳定性提高的固化膜或平面化膜。

    感光性树脂组合物
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105629663B

    公开(公告)日:2021-01-15

    申请号:CN201510812533.4

    申请日:2015-11-20

    IPC分类号: G03F7/039 G03F7/004

    摘要: 本发明涉及一种正型感光性树脂组合物和一种由其制备的固化膜。所述感光性树脂组合物包含(A)含有至少一个衍生自由式(I)表示的硅烷化合物的结构单元的硅氧烷聚合物,(B)环氧化合物以及(C)1,2‑二叠氮醌化合物,其可维持含有硅氧烷聚合物的常规组合物的优势,例如高透明度,同时具有改善的耐化学性;因此,其可提供在后处理期间稳定性提高的固化膜或平面化膜。

    感光性树脂组合物和由其制备的固化膜

    公开(公告)号:CN105652593B

    公开(公告)日:2021-03-19

    申请号:CN201510813178.2

    申请日:2015-11-20

    IPC分类号: G03F7/004 G03F7/075

    摘要: 本发明涉及一种感光性树脂组合物和一种由其制备的固化膜。如下所述感光性树脂组合物可以维持含有硅氧烷聚合物的常规组合物的优势,即高耐热性和高透明度,同时还具有改良的抗裂性:其包含硅氧烷聚合物、1,2‑醌二叠氮化合物和溶剂,其中以Si原子的总摩尔数计,所述硅氧烷聚合物(A)包含2到15摩尔%的线性硅氧烷结构单元;因此,其可以提供具有改良的稳定性的固化膜或平面化膜。

    正型光敏组合物以及使用其的固化膜

    公开(公告)号:CN111381446A

    公开(公告)日:2020-07-07

    申请号:CN201911344416.4

    申请日:2019-12-23

    IPC分类号: G03F7/075

    摘要: 本发明涉及一种正型光敏树脂组合物和一种由其制备的固化膜。在所述组合物中,通过含有具有特定结构的重复单元的聚合物的光活性化合物和/或单体的光活性化合物与两种粘合剂树脂(即硅氧烷共聚物和丙烯酸类共聚物)之间的相互作用来适当地调节显影性(即显影速率)。因此,有可能降低在显影步骤期间固化膜厚度损失率。另外,使用所述组合物允许通过所述两种粘合剂树脂与所述光活性化合物之间的相互作用增加暴露部分(即曝光的部分),这增加了在显影剂中的溶解性,由此可以增强敏感性。此外,所述组合物能够形成固化膜,所述固化膜在膜保留率方面是优异的,并且甚至在后烘烤后具有光滑的表面。

    感光性树脂组合物和由其制备的固化膜

    公开(公告)号:CN105652593A

    公开(公告)日:2016-06-08

    申请号:CN201510813178.2

    申请日:2015-11-20

    IPC分类号: G03F7/004 G03F7/075

    摘要: 本发明涉及一种感光性树脂组合物和一种由其制备的固化膜。如下所述感光性树脂组合物可以维持含有硅氧烷聚合物的常规组合物的优势,即高耐热性和高透明度,同时还具有改良的抗裂性:其包含硅氧烷聚合物、1,2-醌二叠氮化合物和溶剂,其中以Si原子的总摩尔数计,所述硅氧烷聚合物(A)包含2到15摩尔%的线性硅氧烷结构单元;因此,其可以提供具有改良的稳定性的固化膜或平面化膜。