专利检索 ap:("聚灿光电科技(宿迁)有限公司") AND inv:"肖卫超" 第 1 页

1.

发明公开
一种用于EL测试系统的稳定且无损的外延片电性能测试装置及方法审中-实审

公开(公告)号：CN117783803A

公开(公告)日：2024-03-29

申请号：CN202311809846.5

申请日：2023-12-27

申请人： 聚灿光电科技(宿迁)有限公司

发明人： 陈浩 , 肖卫超 , 陶冠群 , 黎国昌 , 徐志军 , 江汉

IPC分类号： G01R31/26 , G01R1/02 , G01R1/04

摘要： 本发明公开了一种用于EL测试系统的稳定且无损的外延片电性能测试装置及方法，包括电流源、与电流源连接的P极测试探针和N极测试电极；P极测试探针为可伸缩式P极测试探针，包括壳体，壳体内安装有导电弹簧，弹簧一端固定在壳体顶端并通过导线连接电流源，另一端连接P极测试电极，P极测试电极通过马达控制移动直接接触待测外延片表面；N极测试电极为柔性导电材质制成的环形N极测试电极，环形N极测试电极包覆在外延片侧壁裸露的N层上并通过导线连接电流源。通过装置进行测试的EL结果稳定、可靠，经过验证可作为判定外延片性能的标准，可以取消快测流程，缩短在制周期，避免异常发现不及时，并可准确赋以每片外延片电性等级。