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发明公开
用于金属化装置的蒸发舟审中-实审

公开(公告)号：CN108728797A

公开(公告)日：2018-11-02

申请号：CN201810223641.1

申请日：2018-03-19

Applicant: 肯纳金属公司

Inventor： J.戈德史密斯 , R.拉蒂默 , 韩茂鲲 , 杜帅 , 郭志全

IPC: C23C14/24

CPC classification number: C23C14/243 , B28B3/025 , C23C14/14 , C23C14/26

Abstract: 本发明题为“用于金属化装置的蒸发舟”。在一个方面，本发明提供蒸发舟，所述蒸发舟在一些实施方案中表现出对因暴露于熔融金属(包括铝)中而造成的腐蚀以及相关性能劣化的耐受性。本文所述的蒸发舟包括主体和蒸发器表面，所述主体包括氮化硼(BN)组分和TiB2组分，后者包含TiB2与选自由硅和元素周期表IVB-VIIIB族金属元素组成的组的一种或多种元素的固溶体。

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