公开(公告)号：CN112673243A

公开(公告)日：2021-04-16

申请号：CN201980058969.5

申请日：2019-09-12

申请人： 芬兰国家技术研究中心股份公司

发明人： 塔皮奥·珀努 ,  尤卡·凯纳琳 ,  雅克·萨里拉赫蒂

IPC分类号： G01L13/02 ,  G01L27/00

摘要： 根据本发明的示例方面，提供了一种MEMS压力传感器(1)，其包括：传感器部分(10)和阀部分(20)，传感器部分(10)包括可变形膜(11)和第一腔室(12)，阀部分包括到压力传感器的第一侧(40)的第一输出(22)和到压力传感器的第二侧(50)的第二输出(23)。所述阀部分可操作以关闭第二输出并打开第一输出，使第一腔室中的压力与所述压力传感器的第一侧的压力相等，从而用于校准传感器；关闭第一输出，打开第二输出，使第一腔室中的压力与压力传感器的第二侧的压力相等，从而进行压力测量。