公开(公告)号：CN118904854A

公开(公告)日：2024-11-08

申请号：CN202410973944.0

申请日：2024-07-19

申请人： 芯联越州集成电路制造(绍兴)有限公司

发明人： 张邵杭 ,  沈雪松

IPC分类号： B08B11/04 ,  B08B11/02 ,  B08B3/02 ,  B08B3/08 ,  B08B3/14 ,  B08B5/02 ,  B08B13/00 ,  B05C9/10

摘要： 本发明涉及半导体制造技术领域，提供了一种玻璃清洗装置、玻璃涂胶设备及玻璃清洗方法，玻璃清洗装置设置于所述玻璃涂胶设备中，玻璃清洗装置包括：传送单元、清洗单元以及干燥单元；所述清洗单元用于清洗玻璃；所述干燥单元用于对清洗后的所述玻璃进行干燥；所述传送单元用于将玻璃传送至所述清洗槽的所述清洗位进行清洗，且用于将清洗后的所述玻璃转运至所述干燥单元并将干燥后的所述玻璃转运至玻璃涂胶设备的涂胶区。该玻璃清洗装置集成于玻璃涂胶设备中，用于对玻璃进行清洗，且清洗后的玻璃可直接在玻璃涂胶设备中进行涂胶作业，利于提高作业效率，而且该清洗装置可同时清洗多个玻璃，清洗效率高，且清洗液用量小。