公开(公告)号：CN115933318A

公开(公告)日：2023-04-07

申请号：CN202211650343.3

申请日：2022-12-21

申请人： 芯达半导体设备(苏州)有限公司

发明人： 魏猛 ,  王阳 ,  刘莹

IPC分类号： G03F7/16

摘要： 本发明的实施例提供了一种带直边晶圆的边缘辐照方法、装置和设备。所述方法包括调整光纤传感器使光纤照射位置处于直边晶圆的外圆环与直边中点所在圆环之间；以带直边晶圆的中心为原点建立三维坐标系，使带直边晶圆沿三维坐标系的Z轴旋转；当光纤传感器的光路处于非导通状态时，以当前位置作为初始位置旋转带直边晶圆，获取第一次光纤信号变化和第二次光纤信号变化，根据对应的角度计算带直边晶圆的目标旋转角度；若带直边晶圆在目标旋转角度停止，则对带直边晶圆的边缘进行辐照。以此方式，可以实现不对旋转中的晶圆进行停止，即可使晶圆停止在目标位置，通过紫外光源进行边缘辐照，简化了晶圆边缘辐照的过程，提高了效率。

公开(公告)号：CN218669753U

公开(公告)日：2023-03-21

申请号：CN202223359151.5

申请日：2022-12-13

申请人： 芯达半导体设备(苏州)有限公司

发明人： 王阳 ,  魏猛 ,  刘莹

IPC分类号： F04B43/09 ,  F04B13/00

摘要： 本实用新型涉及液体供给装置技术领域，特别涉及一种精密定量液体供给装置。包括储液罐、泵送腔、伸缩囊及伸缩囊伸缩驱动机构，其中泵送腔的吸液口通过吸液管与储液罐连接，泵送腔的排液口通过供液管与喷嘴连接；伸缩囊容置于泵送腔内，伸缩囊内盛装有工作液，伸缩囊伸缩驱动机构设置于泵送腔的外侧，且与伸缩囊连接，伸缩囊伸缩驱动机构通过改变伸缩囊内的液体容积驱动伸缩囊伸缩，实现泵送腔从储液罐内吸液及泵送腔为喷嘴供液。本实用新型的泵送腔内因没有摩擦，不会对输送液产生污染；伸缩囊两侧压差小，且受力均匀，提高了伸缩囊的使用寿命。