公开(公告)号：CN109439329A

公开(公告)日：2019-03-08

申请号：CN201811270341.5

申请日：2018-10-29

申请人： 苏州博洋化学股份有限公司

发明人： 王润杰 ,  李华平 ,  郑李辉 ,  卢洪庆 ,  陈文波

IPC分类号： C09K13/08 ,  H01L21/306

摘要： 本发明涉及平板显示阵列制程用新型IGZO蚀刻液，按重量百分比算，包括硫酸1-10％、硝酸0.5-10％、醋酸0.5-10％、氟化物0.1-0.6％、表面活性剂5ppm-1000ppm和余量超纯水。本发明蚀刻液对新型的耐蚀型IGZO材料起到很好的蚀刻作用，蚀刻率高、侧刻量小、无蚀刻残留，符合量产工艺要求。

公开(公告)号：CN109233837A

公开(公告)日：2019-01-18

申请号：CN201811269095.1

申请日：2018-10-29

申请人： 苏州博洋化学股份有限公司

发明人： 王润杰 ,  郑李辉 ,  卢洪庆 ,  李华平 ,  陈文波

IPC分类号： C09K13/06 ,  H01L21/306

摘要： 本发明涉及面板显示阵列制程用新型草酸系ITO蚀刻液，以重量百分比计算，包括3.2-3.6％的草酸、5ppm-900ppm的表面活性剂和余量的超纯水。本发明选用新型的表面活性剂，该表面活性剂降低了表面张力以达到对微晶的控制；同时没有其他任何负面作用，微观细节的控制也更优；同时无稳定泡沫存在，3-10s完全自消泡，消除了泡沫对蚀刻的影响，提高了产品良率。