公开(公告)号：CN111020528A

公开(公告)日：2020-04-17

申请号：CN201911140603.0

申请日：2019-11-20

申请人： 苏州新材料研究所有限公司

发明人： 熊旭明 ,  邰林益 ,  任洪峰 ,  邢晓杰 ,  王昊 ,  蔡渊

IPC分类号： C23C16/40 ,  H01B12/02

摘要： 本申请公开了一种采用MOCVD技术制备REBCO高温超导带材的方法，包括：S1、将金属有机源送至雾化器，使其雾化；S2、雾化后的金属有机源送至蒸发器，使其蒸发成金属有机源气体；S3、将金属有机源气体送入MOCVD反应室，制得REBCO超导薄膜；雾化器包括：内管，外管，由内管的管腔形成的内流道，形成于内管和外管间的外流道；在步骤S1中，将金属有机源溶液通入内流道并从内流道的输出口喷出，将金属有机源溶剂通入外流道并从外流道的输出口喷出，并冲刷所述内流道的输出口。本申请可获得更高的沉积速率和更高的产能。

公开(公告)号：CN111020528B

公开(公告)日：2021-11-19

申请号：CN201911140603.0

申请日：2019-11-20

申请人： 苏州新材料研究所有限公司

发明人： 熊旭明 ,  邰林益 ,  任洪峰 ,  邢晓杰 ,  王昊 ,  蔡渊

IPC分类号： C23C16/40 ,  H01B12/02

摘要： 本申请公开了一种采用MOCVD技术制备REBCO高温超导带材的方法，包括：S1、将金属有机源送至雾化器，使其雾化；S2、雾化后的金属有机源送至蒸发器，使其蒸发成金属有机源气体；S3、将金属有机源气体送入MOCVD反应室，制得REBCO超导薄膜；雾化器包括：内管，外管，由内管的管腔形成的内流道，形成于内管和外管间的外流道；在步骤S1中，将金属有机源溶液通入内流道并从内流道的输出口喷出，将金属有机源溶剂通入外流道并从外流道的输出口喷出，并冲刷所述内流道的输出口。本申请可获得更高的沉积速率和更高的产能。