公开(公告)号：CN114262881A

公开(公告)日：2022-04-01

申请号：CN202111595436.6

申请日：2021-12-24

申请人： 苏州新材料研究所有限公司

发明人： 章鹏 ,  冯仁 ,  岳鹏 ,  张爱兵 ,  迮建军 ,  古宏伟 ,  蔡渊

IPC分类号： C23C16/54 ,  C23C16/455 ,  C23C16/40

摘要： 本发明公开一种用于提升MOCVD沉积效率的生产工艺，包括第一道工艺：以第一方向作为带材的运动方向进行走带，沿第一方向上依次包括有放卷室、MOCVD沉积工艺室和收卷室；第二道工艺：调整走带方向，以与第一方向相反的第二方向为带材的运动方向进行走带；其中MOCVD沉积工艺室内设有第一挡板、喷淋头、加热弧形板和第二挡板，第一挡板和第二挡板沿第一方向相对且间隔设置在MOCVD沉积工艺室的两侧，第一挡板和第二挡板均位于带材之上，喷淋头和加热弧形板位于第一挡板与第二挡板之间且喷淋头位于加热弧形板之上。采用多道走带方向相反的沉积工艺，可以将生产效率提高至少50%以上。

公开(公告)号：CN114262879A

公开(公告)日：2022-04-01

申请号：CN202111595437.0

申请日：2021-12-24

申请人： 苏州新材料研究所有限公司

发明人： 章鹏 ,  冯仁 ,  岳鹏 ,  张爱兵 ,  迮建军 ,  古宏伟 ,  蔡渊

IPC分类号： C23C16/46 ,  C23C16/54 ,  C23C16/40

摘要： 本发明公开一种用于提高MOCVD沉积中带材运动稳定性的弧形板，包括弧形板本体，其实施为一面为平面，另一面为弧面；所述弧形板本体的宽度方向的其中一个侧面上加工有若干间隔的、且朝向另一个侧面延伸的孔，所述孔用于插入控温热电偶；所述弧形板本体的弧面的两端分别铣有多个用于限制带材横向漂移的限位部。通过在弧形板上引入限位机构也即限位槽，可以保证带材在限位槽内顺利运动，也可起到限制带材横向漂移的作用。

公开(公告)号：CN217230934U

公开(公告)日：2022-08-19

申请号：CN202123296504.7

申请日：2021-12-24

申请人： 苏州新材料研究所有限公司

发明人： 冯仁 ,  岳鹏 ,  章鹏 ,  张爱兵 ,  迮建军 ,  古宏伟 ,  蔡渊

IPC分类号： C23C16/46

摘要： 本实用新型公开一种在MOCVD设备中提高加热器寿命的加热弧形板，包括弧形板本体，在其的弧面上开设有多个第一连接孔；弧形替换板，其的形状及尺寸与所述弧形板本体的弧面相匹配，且在所述弧形替换板上设有与所述第一连接孔一一对应的第二连接孔；连接件，依次穿过所述第二连接孔和第一连接孔，将所述弧形替换板固定在所述弧形板本体的弧面上。通过在原有加热弧形板上增设一块与加热弧形板材质相同的弧形替换板，两者之间通过连接件连接，使用弧形替换板形成对加热弧形板的保护，将腐蚀转移至弧形替换板上，只需对弧形替换板进行打磨和更换，无需更换整个加热弧形板，提高了加热弧形板的使用寿命，降低了使用成本。