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公开(公告)号：CN109696447B
公开(公告)日：2020-10-16
申请号：CN201811645352.7
申请日：2018-12-29
申请人： 苏州瑞派宁科技有限公司
IPC分类号： G01N23/04
摘要： 本申请提供一种软X射线显微成像装置，包括软X射线光源、三维位移机构、真空单元、激光单元、反射单元、样本室和探测器，软X射线光源包括真空靶室、制冷腔和喷嘴，制冷腔和喷嘴容置于真空靶室内，喷嘴设置于制冷腔上，三维位移机构分别与制冷腔和真空靶室连接，真空靶室具有相对的两个出口；真空单元包括分别与真空靶室的两个出口连接的第一真空泵和第二真空泵；脉冲激光发生器发出的经过激光聚焦镜后聚焦于喷嘴处；反射单元具有第二反射镜；样本室与真空靶室连通，样本室内容置毛细玻璃管，毛细玻璃管的位置与喷嘴以及反射镜的焦点对应；探测器与样本室连接并与毛细玻璃管的位置对应。本申请探测精确、效率高、节约成本。
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公开(公告)号：CN111385951B
公开(公告)日：2022-07-12
申请号：CN201811640371.0
申请日：2018-12-29
申请人： 苏州瑞派宁科技有限公司
IPC分类号： H05G1/02
摘要： 本申请公开了一种软X射线光源，包括真空靶室、制冷腔和喷嘴，制冷腔和喷嘴容置于真空靶室内，喷嘴设置于制冷腔上，真空靶室包括三通管和多通管，三通管具有相对的第一出口、第二出口和第三出口，第一出口与支撑板连接，制冷剂入口管道、制冷剂出口管道以及工作气体管道分别穿过支撑板并与制冷腔连接，第三出口与抽真空装置连接；多通管包括相对的顶部开口和底部开口，顶部开口与第二出口紧密连接，底部开口处设置真空出口，喷嘴的位置与侧面开口对应，喷嘴下方设置有凹槽，凹槽通过转接头固定，转接头设置于真空出口处，凹槽与真空出口连通。本申请可以使得制冷腔保持高制冷性能，保持微液流的稳定性，提高软X射线的性能。
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公开(公告)号：CN111385951A
公开(公告)日：2020-07-07
申请号：CN201811640371.0
申请日：2018-12-29
申请人： 苏州瑞派宁科技有限公司
IPC分类号： H05G1/02
摘要： 本申请公开了一种软X射线光源，包括真空靶室、制冷腔和喷嘴，制冷腔和喷嘴容置于真空靶室内，喷嘴设置于制冷腔上，真空靶室包括三通管和多通管，三通管具有相对的第一出口、第二出口和第三出口，第一出口与支撑板连接，制冷剂入口管道、制冷剂出口管道以及工作气体管道分别穿过支撑板并与制冷腔连接，第三出口与抽真空装置连接；多通管包括相对的顶部开口和底部开口，顶部开口与第二出口紧密连接，底部开口处设置真空出口，喷嘴的位置与侧面开口对应，喷嘴下方设置有凹槽，凹槽通过转接头固定，转接头设置于真空出口处，凹槽与真空出口连通。本申请可以使得制冷腔保持高制冷性能，保持微液流的稳定性，提高软X射线的性能。
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公开(公告)号：CN109485239A
公开(公告)日：2019-03-19
申请号：CN201811645351.2
申请日：2018-12-29
申请人： 苏州瑞派宁科技有限公司
IPC分类号： C03B23/09
摘要： 本申请公开了一种微孔喷嘴的制作装置，该制作装置包括操作面板、拉制部和锻制部，拉制部包括导轨、第一夹持器、第二夹持器和第一加热器，沿竖向延伸的导轨固定于操作面板上，第一夹持器和第二夹持器沿竖向固定于导轨上，第一夹持器和第二夹持器之间设置第一加热器，第一加热器与二维位移单元连接，二维位移单元固定于立柱上；锻制部设置于操作面板上，锻制部包括第三夹持器、三维位移单元和第二加热器，第三夹持器通过三维位移单元固定于操作面板上，第二加热器设置于操作面板上并与第三夹持器上的夹持孔对应。本申请能够分别实现两个加热器位置的调节，提高喷嘴的成品几何结构的优良度，工艺简单，成本不高。
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公开(公告)号：CN109696447A
公开(公告)日：2019-04-30
申请号：CN201811645352.7
申请日：2018-12-29
申请人： 苏州瑞派宁科技有限公司
IPC分类号： G01N23/04
摘要： 本申请提供一种软X射线显微成像装置，包括软X射线光源、三维位移机构、真空单元、激光单元、反射单元、样本室和探测器，软X射线光源包括真空靶室、制冷腔和喷嘴，制冷腔和喷嘴容置于真空靶室内，喷嘴设置于制冷腔上，三维位移机构分别与制冷腔和真空靶室连接，真空靶室具有相对的两个出口；真空单元包括分别与真空靶室的两个出口连接的第一真空泵和第二真空泵；脉冲激光发生器发出的经过激光聚焦镜后聚焦于喷嘴处；反射单元具有第二反射镜；样本室与真空靶室连通，样本室内容置毛细玻璃管，毛细玻璃管的位置与喷嘴以及反射镜的焦点对应；探测器与样本室连接并与毛细玻璃管的位置对应。本申请探测精确、效率高、节约成本。
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公开(公告)号：CN109640500A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201811640339.2
申请日：2018-12-29
申请人： 苏州瑞派宁科技有限公司
IPC分类号： H05G2/00
CPC分类号： H05G2/006
摘要： 本申请公开了一种软X射线光源，包括真空靶室、制冷腔和喷嘴，制冷腔和喷嘴容置于真空靶室内，喷嘴设置于制冷腔上，软X射线光源还包括支撑板、波纹管和三维位移机构，支撑板设置于真空靶室上，支撑板上设置有穿过支撑板的制冷剂入口管道、制冷剂出口管道和工作气体管道，制冷剂入口管道和制冷剂出口管道与制冷腔连通，工作气体管道穿过制冷腔并与喷嘴连接；波纹管设置于支撑板与真空靶室之间，制冷剂入口管道、制冷剂出口管道和工作气体管道均从波纹管内部穿过；三维位移机构设置于支撑板与真空靶室之间。本申请可以实现在X、Y、Z三轴方向上调节喷嘴位置。
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公开(公告)号：CN209659696U
公开(公告)日：2019-11-19
申请号：CN201822258974.6
申请日：2018-12-29
申请人： 苏州瑞派宁科技有限公司
IPC分类号： H05G1/02
摘要： 本申请公开了一种软X射线光源，包括真空靶室、制冷腔和喷嘴，制冷腔和喷嘴容置于真空靶室内，喷嘴设置于制冷腔上，支撑板设置于真空靶室上，支撑板上设置有穿过支撑板的制冷剂入口管道、制冷剂出口管道和工作气体管道，制冷剂入口管道和制冷剂出口管道分别与制冷腔连通，工作气体管道穿过制冷腔并与喷嘴连接；三维位移机构包括第一位移调节器、第二位移调节器以及第三位移调节器，第一位移调节器、第二位移调节器以及第三位移调节器均设置于支撑板与真空靶室之间并分别控制支撑板沿相互垂直的三个方向移动。本申请可以实现在X、Y、Z三轴方向上调节喷嘴位置，提高软X射线的性能。
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公开(公告)号：CN209659697U
公开(公告)日：2019-11-19
申请号：CN201822254811.0
申请日：2018-12-29
申请人： 苏州瑞派宁科技有限公司
IPC分类号： H05G2/00
摘要： 本申请公开了一种软X射线光源，包括真空靶室、制冷腔和喷嘴，制冷腔和喷嘴容置于真空靶室内，喷嘴设置于制冷腔上，软X射线光源还包括支撑板、波纹管和三维位移机构，支撑板设置于真空靶室上，支撑板上设置有穿过支撑板的制冷剂入口管道、制冷剂出口管道和工作气体管道，制冷剂入口管道和制冷剂出口管道与制冷腔连通，工作气体管道穿过制冷腔并与喷嘴连接；波纹管设置于支撑板与真空靶室之间，制冷剂入口管道、制冷剂出口管道和工作气体管道均从波纹管内部穿过；三维位移机构设置于支撑板与真空靶室之间。本申请可以实现在X、Y、Z三轴方向上调节喷嘴位置。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN209656591U
公开(公告)日：2019-11-19
申请号：CN201822254814.4
申请日：2018-12-29
申请人： 苏州瑞派宁科技有限公司
IPC分类号： G01N23/04
摘要： 本申请提供一种软X射线显微成像装置，包括软X射线光源、三维位移机构、真空单元、激光单元、反射单元、样本室和探测器，软X射线光源包括真空靶室、制冷腔和喷嘴，制冷腔和喷嘴容置于真空靶室内，真空靶室具有相对的两个出口，喷嘴设置于制冷腔上，真空单元包括第一真空泵和第二真空泵，第一真空泵和第二真空泵分别与真空靶室的两个出口连接；脉冲激光发生器发出的激光经过激光聚焦镜后聚焦于喷嘴处；反射单元具有第二反射镜，反射单元与真空靶室连通；样本室与真空靶室连通，样本室内容置毛细玻璃管，毛细玻璃管的位置与喷嘴以及反射镜的焦点对应；探测器与样本室连接并与毛细玻璃管的位置对应。本申请探测精确、效率高、节约成本。
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公开(公告)号：CN209652155U
公开(公告)日：2019-11-19
申请号：CN201822254803.6
申请日：2018-12-29
申请人： 苏州瑞派宁科技有限公司
摘要： 本申请公开了一种微孔喷嘴的制作装置，该制作装置包括操作面板、拉制部和锻制部，拉制部包括导轨、第一夹持器、第二夹持器和第一加热器，沿竖向延伸的导轨固定于操作面板上，第一夹持器和第二夹持器沿竖向固定于导轨上，第一夹持器和第二夹持器之间设置第一加热器，第一加热器与二维位移单元连接，二维位移单元固定于立柱上；锻制部设置于操作面板上，锻制部上设置有三维位移单元。本申请能够分别实现加热器位置的调节，提高喷嘴的成品几何结构的优良度，工艺简单，成本不高。
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