公开(公告)号：CN115308999B

公开(公告)日：2023-03-24

申请号：CN202211244272.7

申请日：2022-10-12

申请人： 苏州矩阵光电有限公司

发明人： 王福平 ,  朱忻 ,  樊成龙

IPC分类号： G03F7/16

摘要： 本发明涉及半导体涂胶设备技术领域，提供了一种匀胶烘干一体机，包括：处理腔室、气体传输装置、第一气体供气单元及第二气体供气单元，处理腔室用于容纳待处理基板，在处理腔室中实现待处理基板旋转、匀胶和烘干的过程，而无需转移待处理基板；气体传输装置与处理腔室连通，包括第一路传输装置、第二路传输装置和第三路传输装置；第一气体供气单元分别向第一路传输装置与第二路传输装置提供第一气体；第二气体供气单元向第三路传输装置提供第二气体。实现匀胶烘干一体化，解决了现有技术中存在的转盘加热成本高限制大、空气中加热易氧化、涂胶烘干步骤繁琐的技术问题。

公开(公告)号：CN115308999A

公开(公告)日：2022-11-08

申请号：CN202211244272.7

申请日：2022-10-12

申请人： 苏州矩阵光电有限公司

发明人： 王福平 ,  朱忻 ,  樊成龙

IPC分类号： G03F7/16

摘要： 本发明涉及半导体涂胶设备技术领域，提供了一种匀胶烘干一体机，包括：处理腔室、气体传输装置、第一气体供气单元及第二气体供气单元，处理腔室用于容纳待处理基板，在处理腔室中实现待处理基板旋转、匀胶和烘干的过程，而无需转移待处理基板；气体传输装置与处理腔室连通，包括第一路传输装置、第二路传输装置和第三路传输装置；第一气体供气单元分别向第一路传输装置与第二路传输装置提供第一气体；第二气体供气单元向第三路传输装置提供第二气体。实现匀胶烘干一体化，解决了现有技术中存在的转盘加热成本高限制大、空气中加热易氧化、涂胶烘干步骤繁琐的技术问题。